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公开(公告)号:CN106001932A
公开(公告)日:2016-10-12
申请号:CN201610194831.6
申请日:2016-03-31
Applicant: 财团法人工业技术研究院 , 日本电气硝子株式会社
IPC: B23K26/38 , B23K26/402
CPC classification number: B23K26/38 , B23K2103/54 , C03B33/0222 , C03B33/04 , C03B33/07 , C03B33/074 , Y02P40/57 , B23K26/402 , B23K2103/52
Abstract: 一种包含脆性层的多层结构的切割方法,此切割方法包括:切割多层结构以形成切割边缘;沿着切割边缘移除脆性层以外的多层结构的材料,其中脆性层以外的多层结构的材料的宽度落在1微米至2毫米的范围内;以及移除脆性层以外的多层结构的材料之后,以激光束修饰剩下的脆性层的边缘。
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公开(公告)号:CN106001932B
公开(公告)日:2018-08-03
申请号:CN201610194831.6
申请日:2016-03-31
Applicant: 财团法人工业技术研究院 , 日本电气硝子株式会社
IPC: B23K26/38 , B23K26/402
CPC classification number: B23K26/38 , B23K2103/54 , C03B33/0222 , C03B33/04 , C03B33/07 , C03B33/074 , Y02P40/57
Abstract: 种包含脆性层的多层结构的切割方法,此切割方法包括:切割多层结构以形成切割边缘;沿着切割边缘移除脆性层以外的多层结构的材料,其中脆性层以外的被移除的多层结构的材料的宽度落在1微米至2毫米的范围内;以及移除脆性层以外的多层结构的材料之后,以激光束修饰剩下的脆性层的边缘。
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公开(公告)号:CN106025100A
公开(公告)日:2016-10-12
申请号:CN201610195135.7
申请日:2016-03-31
Applicant: 财团法人工业技术研究院
CPC classification number: H01L51/0023 , H01L51/0011 , H01L51/5012 , H01L51/56 , H01L51/50 , H01L51/52 , H01L51/5203
Abstract: 本发明提供了一种有机电致发光装置及其制造方法。该方法包含:在衬底上形成第一导电层,第一导电层包含第一电极和与第一电极电绝缘的第一接触图案;在第一导电层上形成第一掩模,第一掩模包含离型薄膜、安置于离型薄膜和第一导电层之间的基底薄膜,并且第一掩模包含用于部分地暴露第一电极和第一接触图案的开口;通过第二掩模的遮蔽,形成部分地覆盖第一掩模的图案化有机功能层和被第一掩模暴露的第一电极;移除第二掩模;在前述结构上形成第二导电层;以及通过移除离型薄膜和形成在其上的第二导电层,以将第二导电层图案化而形成电连接到第一接触图案的第二电极和电连接到第一电极的第二接触图案。
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公开(公告)号:CN106025100B
公开(公告)日:2018-01-23
申请号:CN201610195135.7
申请日:2016-03-31
Applicant: 财团法人工业技术研究院
CPC classification number: H01L51/0023 , H01L51/0011 , H01L51/5012
Abstract: 本发明提供了一种有机电致发光装置及其制造方法。该方法包含:在衬底上形成第一导电层,第一导电层包含第一电极和与第一电极电绝缘的第一接触图案;在第一导电层上形成第一掩模,第一掩模包含离型薄膜、安置于离型薄膜和第一导电层之间的基底薄膜,并且第一掩模包含用于部分地暴露第一电极和第一接触图案的开口;通过第二掩模的遮蔽,形成部分地覆盖第一掩模的图案化有机功能层和被第一掩模暴露的第一电极;移除第二掩模;在前述结构上形成第二导电层;以及通过移除离型薄膜和形成在其上的第二导电层,以将第二导电层图案化而形成电连接到第一接触图案的第二电极和电连接到第一电极的第二接触图案。
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