公开(公告)号：CN113834433A

公开(公告)日：2021-12-24

申请号：CN202010770902.9

申请日：2020-08-04

Applicant: 财团法人工业技术研究院

Inventor： 陈婉心 ,  柯宏宪 ,  陈长营 ,  江奕宏

IPC: G01B11/16 ,  G01L1/00

Abstract: 本发明提供一种受压状态量测方法及受压状态量测系统，适于量测受压物被施压物施压时的受压状态。首先，撷取受压物的未被所述施压物遮蔽的第一表面区域的至少一个影像。依据影像获得第一表面区域的第一应变分布值。依据第一应变分布值获得至少一个应变分布函数。依据应变分布函数获得受压物的被所述施压物遮蔽的第二表面区域的第二应变分布值。

公开(公告)号：CN111006635A

公开(公告)日：2020-04-14

申请号：CN201811398062.7

申请日：2018-11-22

Applicant: 财团法人工业技术研究院

Inventor： 高浩哲 ,  陈信助 ,  陈婉心 ,  刘玟泓

IPC: G01B21/32 ,  G01L1/00

Abstract: 本发明提供一种应变测量与应力优化的方法、装置、反馈系统与记录介质。在一实施例中，一种柔性基板的应变测量与应力优化方法包括分别取得柔性基板多个点的成膜前与成膜后振幅，计算柔性基板的多个点的成膜后应变值并转换为应力值。分别取得多个第一柔性基板的各第一柔性基板上所形成的单层薄膜上的多个点的振幅并转换为应变值；取得第二柔性基板上所堆迭成的多层薄膜上的多个点的振幅并转换为应变值；求解方程式得到各单层薄膜的材料系数；在应变值设为零时，固定该第一柔性基板上形成的这些单层薄膜的一部分的厚度，比对对应数值数据库，计算出所欲优化的第一柔性基板上所形成的这些单层薄膜的另一部分的厚度。