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公开(公告)号：CN104909328B
公开(公告)日：2017-08-11
申请号：CN201410190811.2
申请日：2014-05-07
Applicant: 财团法人工业技术研究院
IPC: B81B5/00
CPC classification number: G01C19/5762 , B81B3/0045 , B81B2201/0235 , B81B2201/0242 , B81B2203/0163 , Y10T74/12
Abstract: 本发明公开一种具有用于旋转元件的折叠弹簧的微机电装置，利用折叠弹簧即能进行旋转运动，该微机电装置包含一旋转元件、至少一限制元件以及至少二折叠弹簧。二折叠弹簧以轴线为中心线而对称配置，每一折叠弹簧具有一移动端及一固定端。移动端连接旋转元件，固定端连接限制元件。由于移动端与固定端不位于轴线上，当旋转元件依一轴线进行旋转时，折叠弹簧的移动端会跟着旋转且弹簧长度也会因而改变。此种具有用于旋转元件的折叠弹簧的微机电装置可应用于各种具有旋转元件的微机电装置，例如加速度计、陀螺仪、微镜面及磁力计等。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103916100B
公开(公告)日：2016-12-28
申请号：CN201310062693.2
申请日：2013-02-28
Applicant: 财团法人工业技术研究院
IPC: H03H9/15
CPC classification number: H03H9/178 , B81B7/02 , H03H3/0072 , H03H3/02 , H03H9/02007 , H03H9/02244 , H03H9/0595 , H03H9/17 , H03H9/205 , H03H2003/021 , H03H2003/027 , H03H2009/02496
Abstract: 本发明公开一种微机电共振装置，上述微机电共振装置包括单一或多个共振单元，其中上述的每一个些共振单元包括一基材，其中具有一沟槽；一对第一电极，设置于上述沟槽的一对侧壁上；一压电材料，填充于上述沟槽，且覆盖上述第一电极；一第二电极，嵌入上述压电材料且通过上述压电材料与上述对第一电极隔开，其中位于上述沟槽中的上述第二电极与上述对第一电极平行。
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公开(公告)号：CN106920806B
公开(公告)日：2020-04-21
申请号：CN201610183499.3
申请日：2016-03-28
Applicant: 财团法人工业技术研究院
IPC: H01L27/146
Abstract: 本发明公开一种光感测元件及其制造方法。该光感测元件包括基材、半导体元件层、金属与绝缘材料叠层结构以及光吸收层。基材具有凹陷部。半导体元件层位于基材上。金属与绝缘材料叠层结构位于半导体元件层上且包括第一内连线结构以及位于第一内连线结构周围的第二内连线结构以及元件导线。光吸收层位于金属与绝缘材料叠层结构上，其中第一内连线结构位于光吸收层与半导体元件层之间，以使位于不同水平面的光吸收层以及半导体元件层彼此具有固体热传导途径。
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公开(公告)号：CN106920806A
公开(公告)日：2017-07-04
申请号：CN201610183499.3
申请日：2016-03-28
Applicant: 财团法人工业技术研究院
IPC: H01L27/146
Abstract: 本发明公开一种光感测元件及其制造方法。该光感测元件包括基材、半导体元件层、金属与绝缘材料叠层结构以及光吸收层。基材具有凹陷部。半导体元件层位于基材上。金属与绝缘材料叠层结构位于半导体元件层上且包括第一内连线结构以及位于第一内连线结构周围的第二内连线结构以及元件导线。光吸收层位于金属与绝缘材料叠层结构上，其中第一内连线结构位于光吸收层与半导体元件层之间，以使位于不同水平面的光吸收层以及半导体元件层彼此具有固体热传导途径。
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公开(公告)号：CN103916100A
公开(公告)日：2014-07-09
申请号：CN201310062693.2
申请日：2013-02-28
Applicant: 财团法人工业技术研究院
IPC: H03H9/15
CPC classification number: H03H9/178 , B81B7/02 , H03H3/0072 , H03H3/02 , H03H9/02007 , H03H9/02244 , H03H9/0595 , H03H9/17 , H03H9/205 , H03H2003/021 , H03H2003/027 , H03H2009/02496
Abstract: 本发明公开一种微机电共振装置，上述微机电共振装置包括单一或多个共振单元，其中上述的每一个些共振单元包括一基材，其中具有一沟槽；一对第一电极，设置于上述沟槽的一对侧壁上；一压电材料，填充于上述沟槽，且覆盖上述第一电极；一第二电极，嵌入上述压电材料且通过上述压电材料与上述对第一电极隔开，其中位于上述沟槽中的上述第二电极与上述对第一电极平行。
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公开(公告)号：CN104909328A
公开(公告)日：2015-09-16
申请号：CN201410190811.2
申请日：2014-05-07
Applicant: 财团法人工业技术研究院
IPC: B81B5/00
CPC classification number: G01C19/5762 , B81B3/0045 , B81B2201/0235 , B81B2201/0242 , B81B2203/0163 , Y10T74/12
Abstract: 本发明公开一种具有用于旋转元件的折叠弹簧的微机电装置，利用折叠弹簧即能进行旋转运动，该微机电装置包含一旋转元件、至少一限制元件以及至少二折叠弹簧。二折叠弹簧以轴线为中心线而对称配置，每一折叠弹簧具有一移动端及一固定端。移动端连接旋转元件，固定端连接限制元件。由于移动端与固定端不位于轴线上，当旋转元件依一轴线进行旋转时，折叠弹簧的移动端会跟着旋转且弹簧长度也会因而改变。此种具有用于旋转元件的折叠弹簧的微机电装置可应用于各种具有旋转元件的微机电装置，例如加速度计、陀螺仪、微镜面及磁力计等。
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