公开(公告)号：CN105990416A

公开(公告)日：2016-10-05

申请号：CN201510043096.4

申请日：2015-01-28

Applicant: 财团法人交大思源基金会

Inventor： 李镇宇 ,  邹安杰 ,  郭浩中 ,  张俊彦

IPC: H01L29/778 ,  H01L29/15

CPC classification number: H01L29/7786 ,  H01L21/02381 ,  H01L21/02458 ,  H01L21/02507 ,  H01L21/0254 ,  H01L21/02658 ,  H01L29/1075 ,  H01L29/2003 ,  H01L29/207

Abstract: 本发明提供一种高速晶体管，包括衬底、形成于该衬底上方的超晶格结构以及形成于该超晶格结构上的外延层。该高速晶体管使用具有碳掺杂的氮化铝/氮化镓的超晶格结构作为外延层与衬底之间的结构，而能有效减少垂直漏电流，进而能够提升外延品质及高速晶体管的击穿电压。