公开(公告)号：CN104507674A

公开(公告)日：2015-04-08

申请号：CN201380040664.4

申请日：2013-06-03

Applicant: 谷歌公司

Inventor： W·汉博根 ,  L·兰姆 ,  J·坦纳

IPC: B32B15/01 ,  G06F1/18 ,  G06F1/16

CPC classification number: G06F1/1633 ,  B32B15/012 ,  C22C1/02 ,  C23F1/02 ,  G06F1/1613 ,  G06F1/1679 ,  G06F1/181 ,  H04M1/0249 ,  H05K5/04 ,  Y10T29/49002 ,  Y10T428/12347 ,  Y10T428/12361 ,  Y10T428/12757 ,  Y10T428/12979 ,  Y10T428/24802 ,  Y10T428/24851 ,  Y10T428/24917

Abstract: 一种方法包含在多层材料薄片的第一外层中产生开口，所述材料薄片具有三个或三个以上材料层，包含所述第一外层及第二外层。通过所述开口引入选择性蚀刻剂，其中相比于所述第一及第二外层，所述蚀刻剂选择性地蚀刻所述多层材料薄片的内部金属层。允许所述选择性蚀刻剂蚀刻所述第一外层下方的所述内部金属层的材料。

公开(公告)号：CN104507674B

公开(公告)日：2017-07-14

申请号：CN201380040664.4

申请日：2013-06-03

Applicant: 谷歌公司

Inventor： W·汉博根 ,  L·兰姆 ,  J·坦纳

IPC: B32B15/01 ,  G06F1/18 ,  G06F1/16

CPC classification number: G06F1/1633 ,  B32B15/012 ,  C22C1/02 ,  C23F1/02 ,  G06F1/1613 ,  G06F1/1679 ,  G06F1/181 ,  H04M1/0249 ,  H05K5/04 ,  Y10T29/49002 ,  Y10T428/12347 ,  Y10T428/12361 ,  Y10T428/12757 ,  Y10T428/12979 ,  Y10T428/24802 ,  Y10T428/24851 ,  Y10T428/24917

Abstract: 一种方法包含在多层材料薄片的第一外层中产生开口，所述材料薄片具有三个或三个以上材料层，包含所述第一外层及第二外层。通过所述开口引入选择性蚀刻剂，其中相比于所述第一及第二外层，所述蚀刻剂选择性地蚀刻所述多层材料薄片的内部金属层。允许所述选择性蚀刻剂蚀刻所述第一外层下方的所述内部金属层的材料。