公开(公告)号：CN117991010A

公开(公告)日：2024-05-07

申请号：CN202410047967.9

申请日：2024-01-12

Applicant: 许昌学院

Inventor： 陈益峰 ,  王金晓 ,  谭文军 ,  蔡锟 ,  王鑫 ,  栗玮 ,  胡广勇

IPC: G01R31/00 ,  G01R31/12

Abstract: 本发明公开了一种深层带电效应诱发静电放电对器件影响的试验装置和方法，包括商用ESD发生器控制单元和RLC电路，商用ESD发生器控制单元的放电电极电连接金属平板，ESD发生器放电电极应与金属平板表面保持垂直；所述RLC电路由电阻R、电感L、电容C依次串联构成，所述金属平板同时与RLC电路中电感L和电容C的接点连接，RLC电路中电阻R和电容C的接点通过一导线连接到滑动开关，滑动开关连接待测试器件的不同管脚，所述导线置于示波器的电流探头中，由示波器测试放电脉冲波形，解决了深层带电效应产生放电脉冲特征有效模拟的问题，且脉冲参数具有很好的可控性和重复性，为定量研究深层带电效应诱发静电放电对电子器件影响提供了一种方便、经济的方法。