公开(公告)号：CN102822394A

公开(公告)日：2012-12-12

申请号：CN201180012783.X

申请日：2011-03-09

Applicant: 西铁城精技美优达株式会社

Inventor： 林贵之 ,  有贺俊光 ,  松仓诚 ,  安斋裕 ,  宫本晃男 ,  松村祯夫 ,  古川保典

IPC: C30B29/30 ,  C30B33/02 ,  H01L41/08 ,  H01L41/18 ,  H01L41/24

CPC classification number: C30B29/22 ,  C30B15/00 ,  C30B33/02 ,  F02D35/023 ,  G01L9/08 ,  G01L23/10 ,  H01L41/1132 ,  H01L41/18 ,  H01L41/187 ,  H01L41/41

Abstract: 本发明为从由La2O 3、Ta2O5、Ga2O3、Al2O3的混合物制备的多晶体起始原料制造LTGA的单晶的方法，提供一种方法，作为多晶体起始原料，使用由y(La2O3)＋(1-x-y-z)(Ta2O5)＋z(Ga2O3)＋x(Al2O3)表示的组成(该式中，0＜x≤0.40/9、3.00/9＜y≤3.23/9、5.00/9≤z＜5.50/9)的混合物，且设结晶培养轴为Z轴，培养LTGA单晶。优选对培养了的LTGA单晶实施真空热处理。通过本发明的方法培养的、高绝缘、高稳定性LTGA单晶，能够应用于对内燃机燃烧室内的燃烧压力的测定有用的高可靠性的燃烧压传感器的压电元件等。