可光聚合热固性树脂组合物

    公开(公告)号:CN1307693A

    公开(公告)日:2001-08-08

    申请号:CN99807922.7

    申请日:1999-06-18

    CPC classification number: G03F7/031 G03F7/038

    Abstract: 公开了一类特别适合用作碱性可显影掩膜的组合物,包含(A)分子中含至少1个羧基的齐聚物或聚合物;(B)至少一种式Ⅰ、Ⅱ、Ⅲ、Ⅳ、Ⅴ或Ⅵ的化合物,其中R1特别是苯基或烷基;R2是例如无取代或取代的C2-C12链烷酰基,或苯甲酰基;R3、R4、R5、R6和R7独立地是例如氢、C1-C12烷基、环己基或无取代或有取代的苯基,或是苄基、苯甲酰基、C2-C12链烷酰基或苯氧羰基;R8是例如氢或C1-C12烷基或基团(B);M是例如C1-C12亚烷基、亚环己基或亚苯基;M1特别是直连键或C1-C12亚烷氧基;Ar是5-或6员芳族杂环;(C)一种可光聚合的活性或非活性稀释剂;和(D)作为热固性组分的每个分子中含至少2个环氧基的环氧化合物。

    可光聚合热固性树脂组合物及其应用

    公开(公告)号:CN1203374C

    公开(公告)日:2005-05-25

    申请号:CN99807922.7

    申请日:1999-06-18

    CPC classification number: G03F7/031 G03F7/038

    Abstract: 公开了一类特别适合用作碱性可显影掩膜的组合物,包含(A)分子中含至少1个羧基的齐聚物或聚合物;(B)至少一种式I、II、III、IV、V或VI的化合物,其中R1特别是苯基或烷基;R2是例如无取代或取代的C2-C12链烷酰基,或苯甲酰基;R3、R4、R5、R6和R7独立地是例如氢、C1-C12烷基、环己基或无取代或有取代的苯基,或是苄基、苯甲酰基、C2-C12链烷酰基或苯氧羰基;R8是例如氢或C1-C12烷基或基团(B);M是例如C1-C12亚烷基、亚环己基或亚苯基;M1特别是直连键或C1-C12亚烷氧基;Ar是5-或6员芳族杂环;(C)一种可光聚合的活性或非活性稀释剂;和(D)作为热固性组分的每个分子中含至少2个环氧基的环氧化合物。

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