公开(公告)号：CN119384108A

公开(公告)日：2025-01-28

申请号：CN202411518403.5

申请日：2024-10-29

Applicant: 西安电子科技大学杭州研究院 ,  西安电子科技大学

Inventor： 石理平 ,  钮盼盼 ,  马可昭 ,  耿娇

IPC: H10F77/40 ,  H10F77/14 ,  H10F30/227 ,  H10F71/00

Abstract: 本申请的实施例涉及光电探测技术领域，特别涉及一种激光诱导周期性结构增强的光电探测器及其制备方法，光电探测器包括：自下而上的衬底层、光栅模板层、底面金属层、半导体层和表面金属层；注入光注入表面金属层，因表面金属层的纳米光栅结构而激发表面等离子体激元共振，提升注入光的吸收效率，底面金属层、半导体层和表面金属层之间有褶皱形纳米光栅结构；底面金属层、半导体层和表面金属层形成法布里‑珀罗腔结构，注入光进入腔体后，在腔内形成驻波，与材料进行相互作用，产生腔内共振增强效应；通过调整光栅模板层的光栅结构的周期和半导体层的厚度，能够实现光电探测器的多波长选择。该光电探测器制备简便，可灵活调控，适用于批量生产。

公开(公告)号：CN118884594A

公开(公告)日：2024-11-01

申请号：CN202411130403.8

申请日：2024-08-16

Applicant: 西安电子科技大学 ,  西安电子科技大学杭州研究院

Inventor： 石理平 ,  耿娇 ,  马可昭

IPC: G02B5/28

Abstract: 本发明涉及一种宽色域的非对称法布里珀罗腔结构色薄膜，涉及真空薄膜应用领域，包括：基底、金属层、电介质层和半导体层；基底、金属层、电介质层和半导体层自下而上依次排列；金属层、电介质层和半导体层构成法布里珀罗多光束干涉腔；其中，半导体层的厚度用于选择透射特定波长的可见光。本发明公开的宽色域的非对称法布里珀罗腔结构色薄膜，具有支撑的基底以及金属层‑电介质层‑半导体层组成的非法布里珀罗干涉腔，该结构兼容飞秒激光减薄技术，极大的提高了非对称法布里珀罗腔结构色薄膜的生产效率。

公开(公告)号：CN118314803A

公开(公告)日：2024-07-09

申请号：CN202410321940.4

申请日：2024-03-20

Applicant: 西安电子科技大学杭州研究院 ,  西安电子科技大学

Inventor： 石理平 ,  钮盼盼 ,  蒋其麟 ,  耿娇

IPC: G09F3/02 ,  H04L9/32 ,  G06Q30/018

Abstract: 本发明提供针对激光诱导纳米波纹的物理不可克隆防伪标签的制备方法，涉及防伪技术领域。此方法包括：利用扫描系统将脉冲激光聚焦到基底上，并按照预设图案和阵点方式，在基底表面生成具有防伪标签的、由多个无序纳米波纹点构成的且呈现结构色的目标图案，在常温环境下就能实现，不会对基底造成损伤，制备防伪标签的环境与具有防伪标签的复合纸或聚合物证件的制造工艺兼容；可将任意图案直接在基底上生成，在实现物理不可克隆防伪标签的制备前，无需做图案掩模，使制备防伪标签的灵活性较高；可直接形成有结构色的目标图案，各个角度的有结构色的目标图案，呈现出的颜色不同，颜色较持久，颜色不单一，使制备的具有防伪标签的图案的美观性较高。

公开(公告)号：CN119457410A

公开(公告)日：2025-02-18

申请号：CN202411592968.8

申请日：2024-11-08

Applicant: 西安电子科技大学杭州研究院 ,  西安电子科技大学

Inventor： 石理平 ,  耿娇 ,  严吉

IPC: B23K26/0622 ,  H01L21/268 ,  B23K26/70

Abstract: 本申请的实施例涉及半导体材料制备技术领域，特别涉及一种激光诱导的周期可调的氧化周期性结构的制备方法，包括：使用物理沉积法自下而上依次制备基底、金属层和半导体层，形成基底‑金属层‑半导体层自下而上的结构薄膜；使用飞秒激光器发出脉冲激光，依次经过半波片、偏振分束棱镜和柱透镜后，聚焦于结构薄膜的表面，形成氧化周期性结构；通过改变半导体层的厚度，实现对所形成的氧化周期性结构的周期的调控，氧化周期性结构的周期随着半导体层的厚度的增加而下降。该方法能够在不依赖于激光波长和入射角度调制的情况下，实现对氧化周期性结构的周期的灵活调控，并且加工效率很高，可以很好地适应大面积生产。

公开(公告)号：CN119282407A

公开(公告)日：2025-01-10

申请号：CN202411596812.7

申请日：2024-11-11

Applicant: 西安电子科技大学杭州研究院 ,  西安电子科技大学

Inventor： 石理平 ,  耿娇 ,  严吉

IPC: B23K26/352 ,  B23K26/064 ,  B23K26/046 ,  B23K26/0622 ,  B23K26/062 ,  B23K26/70

Abstract: 本申请的实施例涉及半导体材料加工技术领域，特别涉及一种周期可调的微纳氧化周期性结构的加工方法，该方法包括：使用物理沉积法自下而上依次制备基底、金属层和半导体层，形成基底‑金属层‑半导体层自下而上的结构薄膜；搭建由飞秒激光器、光学半波片、偏振分束棱镜和柱透镜组成的光路；使用飞秒激光器发出脉冲串模式的飞秒激光，依次经过光学半波片、偏振分束棱镜和柱透镜后，形成线光斑聚焦于结构薄膜的表面，得到微纳氧化周期性结构；通过改变飞秒激光的子脉冲的个数，实现对加工得到的微纳氧化周期性结构的周期的调控。该方法实现了对微纳氧化周期性结构的高效、经济、批量且精确的制备，具有广泛的工业应用前景。

公开(公告)号：CN117740734A

公开(公告)日：2024-03-22

申请号：CN202311736586.3

申请日：2023-12-18

Applicant: 西安电子科技大学杭州研究院

Inventor： 石理平 ,  唐建锋 ,  刘华星 ,  马可昭 ,  耿娇

IPC: G01N21/41 ,  G01N21/01

Abstract: 本发明公开了一种带有参考波段的高灵敏液体折射率传感器，包括基底，以及：设置在基底上用于激发表面等离激元以形成探测峰的金属层；设置在金属层上充当波导的隔离层；以及设置在隔离层上的光栅层；所述隔离层允许表面等离激元或其它模式的光在其内部传播。本发明公开的带有参考波段的高灵敏液体折射率传感器，不仅可用于高灵敏度折射率传感，还能对传感波段进行实时校正。