公开(公告)号：CN106290546A

公开(公告)日：2017-01-04

申请号：CN201610627663.5

申请日：2016-08-03

Applicant: 西安电子科技大学

Inventor： 吴振宇 ,  赵泽博 ,  李超 ,  杨银堂

IPC: G01N27/62 ,  H01J49/00 ,  H01J49/02

CPC classification number: G01N27/622 ,  H01J49/0018 ,  H01J49/022

Abstract: 本发明涉及离子迁移检测领域，特别涉及一种离子迁移谱仪。离子迁移谱仪，包括硅底板，所述硅底板上表面依次设有离子源、迁移管、检测电极和气流驱动器，硅底板上面设有盖体，将离子源、迁移管、检测电极和气流驱动器均封装在盖体内部，其中离子源的出口与迁移管入口相连，迁移管出口处依次设有检测电极和气流驱动器。本发明所述离子迁移谱仪，利用电压控制介质阻挡放电电路的动作，进而控制迁移管内的气体流速，从而精确地获得离子的注入量，从而提高离子迁移谱仪的分辨率，利用本发明可以将离子迁移谱仪分别率提高至90左右。

公开(公告)号：CN106290546B

公开(公告)日：2019-01-01

申请号：CN201610627663.5

申请日：2016-08-03

Applicant: 西安电子科技大学

Inventor： 吴振宇 ,  赵泽博 ,  李超 ,  杨银堂

IPC: G01N27/62 ,  H01J49/00 ,  H01J49/02

Abstract: 本发明涉及离子迁移检测领域，特别涉及一种离子迁移谱仪。离子迁移谱仪，包括硅底板，所述硅底板上表面依次设有离子源、迁移管、检测电极和气流驱动器，硅底板上面设有盖体，将离子源、迁移管、检测电极和气流驱动器均封装在盖体内部，其中离子源的出口与迁移管入口相连，迁移管出口处依次设有检测电极和气流驱动器。本发明所述离子迁移谱仪，利用电压控制介质阻挡放电电路的动作，进而控制迁移管内的气体流速，从而精确地获得离子的注入量，从而提高离子迁移谱仪的分辨率，利用本发明可以将离子迁移谱仪分别率提高至90左右。