公开(公告)号：CN111952387A

公开(公告)日：2020-11-17

申请号：CN202010733216.4

申请日：2020-07-27

Applicant: 西安电子科技大学

Inventor： 王利明 ,  尤杰 ,  孙浩 ,  张一弛 ,  元磊 ,  胡辉勇 ,  王斌 ,  韩本光 ,  舒斌

IPC: H01L31/0352 ,  H01L31/109 ,  H01L31/18

Abstract: 本发明公开了一种紫外、可见与红外宽谱光电探测器及其制备方法，该制备方法包括：选取清洗完成的玻璃衬底；在所述玻璃衬底上制备电极阵列，所述电极阵列包括若干间隔排列的金属电极；将纳米纤维喷在制备有所述电极阵列的所述玻璃衬底上，以制备覆盖所述电极阵列的ZnO纳米线薄膜；将Ge量子点旋涂在所述ZnO纳米线薄膜上，以制备Ge量子点薄膜；在所述玻璃衬底的背面制备金属薄膜。本发明所制备的光电探测器具有ZnO纳米线与Ge量子点复合的结构，可以将两种材料的优势相结合，本发明采用低成本的方法实现了宽谱的探测。

公开(公告)号：CN111952387B

公开(公告)日：2023-06-30

申请号：CN202010733216.4

申请日：2020-07-27

Applicant: 西安电子科技大学

Inventor： 王利明 ,  尤杰 ,  孙浩 ,  张一弛 ,  元磊 ,  胡辉勇 ,  王斌 ,  韩本光 ,  舒斌

IPC: H01L31/0352 ,  H01L31/109 ,  H01L31/18

Abstract: 本发明公开了一种紫外、可见与红外宽谱光电探测器及其制备方法，该制备方法包括：选取清洗完成的玻璃衬底；在所述玻璃衬底上制备电极阵列，所述电极阵列包括若干间隔排列的金属电极；将纳米纤维喷在制备有所述电极阵列的所述玻璃衬底上，以制备覆盖所述电极阵列的ZnO纳米线薄膜；将Ge量子点旋涂在所述ZnO纳米线薄膜上，以制备Ge量子点薄膜；在所述玻璃衬底的背面制备金属薄膜。本发明所制备的光电探测器具有ZnO纳米线与Ge量子点复合的结构，可以将两种材料的优势相结合，本发明采用低成本的方法实现了宽谱的探测。