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公开(公告)号：CN111593333A
公开(公告)日：2020-08-28
申请号：CN202010612881.8
申请日：2020-06-30
Applicant: 西安微电子技术研究所
Abstract: 本发明一种立体堆叠树脂灌封模块的表面多材质金属化方法，所述方法包括步骤1，先用金刚砂颗粒对灌封模块的表面进行冲击，之后用腐蚀液腐蚀冲击后的灌封模块的表面；步骤2，将灌封模块表面的油污乳化后浸泡在羟乙基乙二胺溶液中进行表面电性调整；步骤3，将灌封模块依次浸泡于硫酸和氟化钠的混合溶液、胶体钯溶液和亚氯酸钠溶液中；步骤4，将灌封模块依次进行化学镀镍和电镀镍金。本发明主要通过弱酸性复合粗化溶液和弱微蚀溶液改进化学镀镍前处理，采用混合酸溶液对电镀镍层活化，稳定实现了对模块表面多种材质的粗化，增强了模块表面镀层结合力，效果良好且状态稳定。
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