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公开(公告)号:CN110411630A
公开(公告)日:2019-11-05
申请号:CN201910711890.X
申请日:2019-08-02
Applicant: 西安微电子技术研究所
Abstract: 本发明提供一种振动筒压力传感器及其特性补偿方法,结构简单,设计合理,能够实现传感器的线性误差和温度误差补偿,精度高。其包括底座,密封设置在底座上的振动筒,设置在振动筒上的激振线圈和拾振线圈,以及主电路和补偿电路;主电路包括依次连接的正反馈振荡电路和整形电路;正反馈振荡电路的输入端分别连接激振线圈和拾振线圈,对振动频率信号进行起振时间和放大倍数的调整;整形电路用于对振动频率信号进行波形的相位调整;补偿电路包括温度测量电路、特性存储电路和电源转换电路;温度测量电路包括温度传感器和放大器;电源转换电路输入端连接电源电压+VCC,输出端分别连接温度测量电路和特性存储电路供电。