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公开(公告)号:CN111537312A
公开(公告)日:2020-08-14
申请号:CN202010561763.9
申请日:2020-06-18
Applicant: 西安微电子技术研究所
Abstract: 本发明提供一种金相测试样片及其制作方法,所述方法包括步骤1,先在附连测试板的测试区外围放置矩形边框,之后在该矩形边框上做标记点,以标记点为基准绕该矩形边框的四个边旋转,完成标准样片的切取;步骤2,采用步骤1的方式得到若干个尺寸相同的标准样片,先将这些标准样片沿垂直方向并排放置在样片盒中,样片的底边与样片盒的底部接触,之后对标准样片依次进行灌胶和固化,最后去掉样片盒,得到固化后的标准样片;步骤3,采用自动磨样的方式对固化后的标准样片进行磨样,得到金相测试样片,可使金相测试样片制作标准化、高效化、模块化,得到的金相测试样片的孔符合标准,大小均一。