公开(公告)号：CN110405354A

公开(公告)日：2019-11-05

申请号：CN201910673089.0

申请日：2019-07-24

Applicant: 西安交通大学 ,  西安交通大学苏州研究院

Inventor： 陈涛 ,  司金海 ,  沈天伦 ,  侯洵

IPC: B23K26/362 ,  B23K26/53 ,  G02B6/02

Abstract: 本发明公开了一种光纤透镜的飞秒激光加工方法，包括以下步骤：利用聚焦的飞秒激光在光纤上依照待制备透镜轮廓进行扫描，激光焦点辐照区域发生材料改性或者刻蚀去除；将处理后的光纤端面部分浸入氢氟酸溶液，通过对改性区域材料的选择腐蚀去除，使透镜轮廓外的光纤脱离形成光纤透镜原型；控制腐蚀时间，使获得的光纤透镜原型的表面趋向光滑，形成光纤透镜。本发明方法加工工序简单，制备光纤透镜的形貌灵活，加工中不存在热效应，可在光纤端面制备各种形貌的凸面和凹面光纤透镜，解决了现有制备方法中存在应力破坏和热烧蚀变形问题，可用于光纤传感、光纤激光器等领域等需要光纤耦合的领域。

公开(公告)号：CN114415277B

公开(公告)日：2022-10-25

申请号：CN202111424863.8

申请日：2021-11-26

Applicant: 西安交通大学

Inventor： 陈涛 ,  张大琪 ,  沈天伦 ,  司金海 ,  侯洵

IPC: G02B5/18

Abstract: 本发明公开了一种用于在金刚石薄膜材料上制备软X射线‑极紫外透射光栅的方法，包括：获得衬底减薄的金刚石薄膜材料；对衬底减薄的金刚石薄膜材料进行湿法腐蚀平整化处理，再在金刚石薄膜材料衬底的减薄区域设置扫描路径；再次进行飞秒激光刻蚀处理，得到第二次减薄的金刚石薄膜材料；进行湿法腐蚀制备金刚石薄膜硅支撑网格和薄膜无衬底镂空区域；在无衬底镂空区域利用飞秒激光辐照，制备获得透射光栅。本发明结合飞秒激光刻蚀和湿法腐蚀高效处理金刚石薄膜材料，能够在去除衬底之后的金刚石薄膜材料上利用飞秒激光辐照制备出大面积、高线密度、高衍射效率、高抗辐射能力、高导热率等具有众多优点的透射光栅。

公开(公告)号：CN114415277A

公开(公告)日：2022-04-29

申请号：CN202111424863.8

申请日：2021-11-26

Applicant: 西安交通大学

Inventor： 陈涛 ,  张大琪 ,  沈天伦 ,  司金海 ,  侯洵

IPC: G02B5/18

Abstract: 本发明公开了一种用于在金刚石薄膜材料上制备软X射线‑极紫外透射光栅的方法，包括：获得衬底减薄的金刚石薄膜材料；对衬底减薄的金刚石薄膜材料进行湿法腐蚀平整化处理，再在金刚石薄膜材料衬底的减薄区域设置扫描路径；再次进行飞秒激光刻蚀处理，得到第二次减薄的金刚石薄膜材料；进行湿法腐蚀制备金刚石薄膜硅支撑网格和薄膜无衬底镂空区域；在无衬底镂空区域利用飞秒激光辐照，制备获得透射光栅。本发明结合飞秒激光刻蚀和湿法腐蚀高效处理金刚石薄膜材料，能够在去除衬底之后的金刚石薄膜材料上利用飞秒激光辐照制备出大面积、高线密度、高衍射效率、高抗辐射能力、高导热率等具有众多优点的透射光栅。

公开(公告)号：CN113964084A

公开(公告)日：2022-01-21

申请号：CN202111155914.1

申请日：2021-09-29

Applicant: 西安交通大学

Inventor： 司金海 ,  沈天伦 ,  陈涛 ,  张大琪 ,  胡文波 ,  王宏兴 ,  侯洵

IPC: H01L21/768 ,  H01L23/48

Abstract: 本发明公开了一种金刚石通孔阵列结构及其制备方法和应用，所述金刚石通孔阵列结构包括：预设厚度的金刚石；所述金刚石设置有通孔阵列，所述通孔阵列的通孔内灌注有电极，所述电极用于实现金刚石上下表面的短垂直电互联。本发明的结构，既可利用金刚石超高热导率的特点提高器件的散热性能，又可通过在金刚石通孔内部注入电极材料，实现上下芯片层的短垂直互联，提高金刚石芯片更好的电学性能和集成密度。