公开(公告)号：CN114415277B

公开(公告)日：2022-10-25

申请号：CN202111424863.8

申请日：2021-11-26

Applicant: 西安交通大学

Inventor： 陈涛 ,  张大琪 ,  沈天伦 ,  司金海 ,  侯洵

IPC: G02B5/18

Abstract: 本发明公开了一种用于在金刚石薄膜材料上制备软X射线‑极紫外透射光栅的方法，包括：获得衬底减薄的金刚石薄膜材料；对衬底减薄的金刚石薄膜材料进行湿法腐蚀平整化处理，再在金刚石薄膜材料衬底的减薄区域设置扫描路径；再次进行飞秒激光刻蚀处理，得到第二次减薄的金刚石薄膜材料；进行湿法腐蚀制备金刚石薄膜硅支撑网格和薄膜无衬底镂空区域；在无衬底镂空区域利用飞秒激光辐照，制备获得透射光栅。本发明结合飞秒激光刻蚀和湿法腐蚀高效处理金刚石薄膜材料，能够在去除衬底之后的金刚石薄膜材料上利用飞秒激光辐照制备出大面积、高线密度、高衍射效率、高抗辐射能力、高导热率等具有众多优点的透射光栅。

公开(公告)号：CN114415277A

公开(公告)日：2022-04-29

申请号：CN202111424863.8

申请日：2021-11-26

Applicant: 西安交通大学

Inventor： 陈涛 ,  张大琪 ,  沈天伦 ,  司金海 ,  侯洵

IPC: G02B5/18

Abstract: 本发明公开了一种用于在金刚石薄膜材料上制备软X射线‑极紫外透射光栅的方法，包括：获得衬底减薄的金刚石薄膜材料；对衬底减薄的金刚石薄膜材料进行湿法腐蚀平整化处理，再在金刚石薄膜材料衬底的减薄区域设置扫描路径；再次进行飞秒激光刻蚀处理，得到第二次减薄的金刚石薄膜材料；进行湿法腐蚀制备金刚石薄膜硅支撑网格和薄膜无衬底镂空区域；在无衬底镂空区域利用飞秒激光辐照，制备获得透射光栅。本发明结合飞秒激光刻蚀和湿法腐蚀高效处理金刚石薄膜材料，能够在去除衬底之后的金刚石薄膜材料上利用飞秒激光辐照制备出大面积、高线密度、高衍射效率、高抗辐射能力、高导热率等具有众多优点的透射光栅。

公开(公告)号：CN113964084A

公开(公告)日：2022-01-21

申请号：CN202111155914.1

申请日：2021-09-29

Applicant: 西安交通大学

Inventor： 司金海 ,  沈天伦 ,  陈涛 ,  张大琪 ,  胡文波 ,  王宏兴 ,  侯洵

IPC: H01L21/768 ,  H01L23/48

Abstract: 本发明公开了一种金刚石通孔阵列结构及其制备方法和应用，所述金刚石通孔阵列结构包括：预设厚度的金刚石；所述金刚石设置有通孔阵列，所述通孔阵列的通孔内灌注有电极，所述电极用于实现金刚石上下表面的短垂直电互联。本发明的结构，既可利用金刚石超高热导率的特点提高器件的散热性能，又可通过在金刚石通孔内部注入电极材料，实现上下芯片层的短垂直互联，提高金刚石芯片更好的电学性能和集成密度。

公开(公告)号：CN119741282A

公开(公告)日：2025-04-01

申请号：CN202411891493.2

申请日：2024-12-20

Applicant: 西安交通大学

Inventor： 陈涛 ,  司金海 ,  钟云 ,  张大琪 ,  张雨 ,  刘士瑜 ,  侯洵

IPC: G06T7/00 ,  G06T7/13 ,  G06T7/62 ,  G06T5/10 ,  G06T5/30 ,  G06T5/70 ,  G06T5/90

Abstract: 本发明涉及工程光学元件表面激光损伤评估技术领域，尤其涉及一种材料激光损伤阈值测量方法、系统、设备及存储介质，该方法通过对飞秒激光辐照区域光学显微图像获取并灰度处理；对灰度处理后的图像进行低频信息提取，以去除噪声和细节干扰，对提取的低频信息进行优化，识别并提取激光损伤特征区域，通过计算激光损伤特征区域的直径及其与激光能量的关系来实现激光损伤阈值的计算。与传统的实验方法相比，该方法能够在短时间内完成烧蚀区域的自动识别与面积计算，极大提高了测量效率，并且不再依赖繁琐的人工操作，避免了测量人员主观因素和局部缺陷带来的不确定性，解决技术中存在的材料飞秒激光损伤阈值测量效率低、精度差的问题。