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公开(公告)号：CN102620678A
公开(公告)日：2012-08-01
申请号：CN201210082343.8
申请日：2012-03-26
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种超精密大口径非球面形状测量机，包括天然花岗岩床身、X轴部件、Z轴部件、调心调平装置和半球定心平面支承转台，直线轴和回转轴均配置高精度光栅尺组成测量反馈系统；X轴包括主气体静压导轨、椭圆弧龙门架、辅气体静压导轨和X轴直线电机；Z轴包括八棱面花岗岩导柱、V型气浮轴承块、长度计和Z轴直线电机；调心调平装置包括转台面、万向调平板、转台下静压盘和驱动单元；转台下静压盘与天然花岗岩床身之间通过气体静压轴承支承。本发明测量机采用柱坐标测量方式，通过高精度接触式测头进行数据的快速采样，可实现大口径非球面、球面、柱面和平面零件(直径900mm)的高精度形状精度测量；操作简易，调节精度高，稳定性好。
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公开(公告)号：CN102607482B
公开(公告)日：2013-12-11
申请号：CN201210080714.9
申请日：2012-03-26
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01B21/00
Abstract: 本发明公开了一种用于超精密测量机转台的调心调平装置，包括转台下静压盘、若干调平装置、调心装置和万向调平板；转台下静压盘顶部设有凹球面和若干对称排布的凹槽；万向调平板的下部设有凸球面；万向调平板安装于转台下静压盘顶部，万向调平板的凸球面与转台下静压盘的凹球面相配合；转台台面的下安装面直接安装在万向调平板上。本发明的有益效果在于：1)可以用于大口径零件测量转台；2)调心调平装置中的球面配合，具有接触面积大、容易对心、运动平稳和承载能力大等优点；3)球面接触副在使用过程中，两个球面能够相互配研，能够得到更好的接触面积，具有自修整功能，很好地提高了调心调平装置的调整精度、稳定性和可靠性。
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公开(公告)号：CN103801944B
公开(公告)日：2016-03-30
申请号：CN201410083627.8
申请日：2014-03-10
Applicant: 北京微纳精密机械有限公司 , 西安交通大学
IPC: B23Q1/38
Abstract: 本发明涉及超精密制造装备技术领域，具体涉及一种大口径气体静压转台结构。其包括定位芯轴和连接芯轴，台面、连接芯轴和下静压板固定连接为一体，定位芯轴穿过连接芯轴的中心孔一端与台面的定位孔配合，另一端与下静压板的定位孔配合，壳体支座的上下凹槽设置上浮多孔质节流器、下浮多孔质节流器，径向多孔质节流器安装于壳体支座和连接芯轴之间，圆盘编码器安装于力矩电机动子的空腔中。本发明采用“工字型”气体静压结构，通过气膜的均化作用提高转台的精度，并且采用背压结构设计，提高转台的承载刚度；双芯轴结构，保证转台的装配精度和转动精度；转台通过力矩电机直接驱动，并配置高精度圆盘编码器，提高转台的运动精度和定位精度。
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公开(公告)号：CN102607483A
公开(公告)日：2012-07-25
申请号：CN201210082345.7
申请日：2012-03-26
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种大口径光学非球面元件柱坐标接触式测量方法，利用测量机通过柱坐标测量方式，采集二维或三维数据；包括以下步骤：步骤S1：利用电感测微仪，找正转台面中心和长度计中心；步骤S2：通过电感测微仪将工件找正；步骤S3：确定基准坐标后，移动X轴将长度计移动到工件边缘确定起始点，将移动量和基准坐标比较确定测量行程L；步骤S4：根据测量机建立工件坐标系和测量坐标系，确定二维测量或三维测量，并进行数据采集，得到所需要的坐标点。本发明测量方法通过超精密形状测量机，能够实现大口径非球面元件铣磨加工后的测量评定，可以实现工件二维和三维误差评定；测量过程易操作，测量方法效率高，测量路径易实现。
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公开(公告)号：CN102607482A
公开(公告)日：2012-07-25
申请号：CN201210080714.9
申请日：2012-03-26
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01B21/00
Abstract: 本发明公开了一种用于超精密测量机转台的调心调平装置，包括转台下静压盘、若干调平装置、调心装置和万向调平板；转台下静压盘顶部设有凹球面和若干对称排布的凹槽；万向调平板的下部设有凸球面；万向调平板安装于转台下静压盘顶部，万向调平板的凸球面与转台下静压盘的凹球面相配合；转台台面的下安装面直接安装在万向调平板上。本发明的有益效果在于：1)可以用于大口径零件测量转台；2)调心调平装置中的球面配合，具有接触面积大、容易对心、运动平稳和承载能力大等优点；3)球面接触副在使用过程中，两个球面能够相互配研，能够得到更好的接触面积，具有自修整功能，很好地提高了调心调平装置的调整精度、稳定性和可靠性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104084877A
公开(公告)日：2014-10-08
申请号：CN201410284975.1
申请日：2014-06-24
Applicant: 北京微纳精密机械有限公司 , 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种环抛机抛光盘螺旋型冷却结构。它包括抛光盘，冷却水循环系统，抛光盘、研磨盘和转台连接在一起，抛光盘上端面加工有螺旋形冷却水管槽，安装有冷却水循环系统，研磨盘下端面与抛光盘上端面粘接在一起，冷却水循环系统可通过冷却水实现抛光过程中研磨盘的恒温控制，让研磨盘保持较好的面形，抛光盘与转台之间通过螺纹固定，转台带动抛光盘旋转，螺旋冷却水管路中的冷却水在离心力的作用下能实现快速循环。本发明能够很好地控制研磨盘和抛光盘温度恒定。
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公开(公告)号：CN103801944A
公开(公告)日：2014-05-21
申请号：CN201410083627.8
申请日：2014-03-10
Applicant: 北京微纳精密机械有限公司 , 西安交通大学
IPC: B23Q1/38
CPC classification number: B23Q1/38
Abstract: 本发明涉及超精密制造装备技术领域，具体涉及一种大口径气体静压转台结构。其包括定位芯轴和连接芯轴，台面、连接芯轴和下静压板固定连接为一体，定位芯轴穿过连接芯轴的中心孔一端与台面的定位孔配合，另一端与下静压板的定位孔配合，壳体支座的上下凹槽设置上浮多孔质节流器、下浮多孔质节流器，径向多孔质节流器安装于壳体支座和连接芯轴之间，圆盘编码器安装于力矩电机动子的空腔中。本发明采用“工字型”气体静压结构，通过气膜的均化作用提高转台的精度，并且采用背压结构设计，提高转台的承载刚度；双芯轴结构，保证转台的装配精度和转动精度；转台通过力矩电机直接驱动，并配置高精度圆盘编码器，提高转台的运动精度和定位精度。
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公开(公告)号：CN102606864B
公开(公告)日：2014-02-05
申请号：CN201210082316.0
申请日：2012-03-26
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了大口径超精密测量机的半球定心平面支承转台结构，包括转台基座、平面支承石墨块、转台下静压盘、半球座、半球形石墨瓦、中心轴和半球轴；转台基座中心设有一个安装孔，半球座固定于该安装孔中；半球形石墨瓦固定在半球座上；中心轴安装于半球轴中心并连同半球轴固定在转台下静压盘上；半球轴的凸球面与半球形石墨瓦的凹球面相配合；转台下静压盘的底面开设有环形槽，该环形槽内均匀固定有若干块平面支承石墨块；平面支承石墨块与转台基座形成气体静压轴承副。本发明采用小尺寸的半球轴对大尺寸的转台进行回转定心，实现高的回转精度；采用平面气体静压轴承支承，减小零部件摩擦，具有高精度、高刚度和高承载能力特点。
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公开(公告)号：CN102607500A
公开(公告)日：2012-07-25
申请号：CN201210082299.0
申请日：2012-03-26
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01B21/20
Abstract: 本发明公开了一种用于大口径零件测量机的椭圆弧龙门结构，包括前板和后板；前板和后板之间通过若干块对称排布的加强筋板焊接固定在一起；前板和后板的下侧边沿呈半椭圆弧状。半个椭圆弧能够保证椭圆弧切入点处不存在应力集中，椭圆弧形状更适合于测量机龙门架结构，节省材料和空间；椭圆弧龙门结构受力较为均匀，延长龙门架的使用寿命与精度；焊接件的设计机构的灵活性，可以根据不同的需要焊接成必要的形状；立柱和横梁设计成一体，减少误差的传递；焊接完成后经过充分时效，释放焊接应力，以保证其长期稳定性；采用加强筋以保证龙门的强度，减轻龙门架的质量即减小机床移动部件的重量，对电机的功率要求减小。
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公开(公告)号：CN102620678B
公开(公告)日：2014-04-23
申请号：CN201210082343.8
申请日：2012-03-26
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种超精密大口径非球面形状测量机，包括天然花岗岩床身、X轴部件、Z轴部件、调心调平装置和半球定心平面支承转台，直线轴和回转轴均配置高精度光栅尺组成测量反馈系统；X轴包括主气体静压导轨、椭圆弧龙门架、辅气体静压导轨和X轴直线电机；Z轴包括八棱面花岗岩导柱、V型气浮轴承块、长度计和Z轴直线电机；调心调平装置包括转台面、万向调平板、转台下静压盘和驱动单元；转台下静压盘与天然花岗岩床身之间通过气体静压轴承支承。本发明测量机采用柱坐标测量方式，通过高精度接触式测头进行数据的快速采样，可实现大口径非球面、球面、柱面和平面零件(直径900mm)的高精度形状精度测量；操作简易，调节精度高，稳定性好。
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