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公开(公告)号：CN102620678B
公开(公告)日：2014-04-23
申请号：CN201210082343.8
申请日：2012-03-26
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种超精密大口径非球面形状测量机，包括天然花岗岩床身、X轴部件、Z轴部件、调心调平装置和半球定心平面支承转台，直线轴和回转轴均配置高精度光栅尺组成测量反馈系统；X轴包括主气体静压导轨、椭圆弧龙门架、辅气体静压导轨和X轴直线电机；Z轴包括八棱面花岗岩导柱、V型气浮轴承块、长度计和Z轴直线电机；调心调平装置包括转台面、万向调平板、转台下静压盘和驱动单元；转台下静压盘与天然花岗岩床身之间通过气体静压轴承支承。本发明测量机采用柱坐标测量方式，通过高精度接触式测头进行数据的快速采样，可实现大口径非球面、球面、柱面和平面零件(直径900mm)的高精度形状精度测量；操作简易，调节精度高，稳定性好。
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公开(公告)号：CN102607500B
公开(公告)日：2014-04-23
申请号：CN201210082299.0
申请日：2012-03-26
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01B21/20
Abstract: 本发明公开了一种用于大口径零件测量机的椭圆弧龙门结构，包括前板和后板；前板和后板之间通过若干块对称排布的加强筋板焊接固定在一起；前板和后板的下侧边沿呈半椭圆弧状。半个椭圆弧能够保证椭圆弧切入点处不存在应力集中，椭圆弧形状更适合于测量机龙门架结构，节省材料和空间；椭圆弧龙门结构受力较为均匀，延长龙门架的使用寿命与精度；焊接件的设计机构的灵活性，可以根据不同的需要焊接成必要的形状；立柱和横梁设计成一体，减少误差的传递；焊接完成后经过充分时效，释放焊接应力，以保证其长期稳定性；采用加强筋以保证龙门的强度，减轻龙门架的质量即减小机床移动部件的重量，对电机的功率要求减小。
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公开(公告)号：CN102248407B
公开(公告)日：2014-04-23
申请号：CN201110070128.1
申请日：2011-03-23
Applicant: 西安交通大学
Inventor： 赵惠英 , 陈伟 , 赵则祥 , 崔殿龙 , 路洪伦 , 刘金波 , 李金明 , 乔雪涛 , 李彬 , 席建普 , 任东旭 , 李焕 , 陈健龙 , 梁颖 , 娄云鸽 , 郭艳婕 , 刘志华 , 张会连
IPC: B23Q1/01
Abstract: 所述的一种用于高精度非球面加工机床的斜横梁结构属于先进制造领域，本发明主要涉及45°斜横梁结构，可调节闭式液体静压导轨和双平板直线电机对置安装结构。斜横梁结构1改善了横梁受力情况，减小横梁的二维挠度变形。调节右调节静压块19可以灵活地实现闭式液体静压导轨油膜厚度的调节，装配效率高。将平板直线电机初级9和12分别竖直安装在T型直线电机安装座11和初级安装过渡板10上，有效减小电机吸力造成的变形，实现横梁部件高精度和高动态特性。本发明可以用于高精度非球面光学零件加工机床的横梁部件，具有高精度、高刚度、高动态特性和减小切削光学零件造成的亚表面损伤层深度，提高零件加工效率。
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公开(公告)号：CN102607483B
公开(公告)日：2014-01-29
申请号：CN201210082345.7
申请日：2012-03-26
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种大口径光学非球面元件柱坐标接触式测量方法，利用测量机通过柱坐标测量方式，采集二维或三维数据；包括以下步骤：步骤S1：利用电感测微仪，找正转台面中心和长度计中心；步骤S2：通过电感测微仪将工件找正；步骤S3：确定基准坐标后，移动X轴将长度计移动到工件边缘确定起始点，将移动量和基准坐标比较确定测量行程L；步骤S4：根据测量机建立工件坐标系和测量坐标系，确定二维测量或三维测量，并进行数据采集，得到所需要的坐标点。本发明测量方法通过超精密形状测量机，能够实现大口径非球面元件铣磨加工后的测量评定，可以实现工件二维和三维误差评定；测量过程易操作，测量方法效率高，测量路径易实现。
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公开(公告)号：CN102606864A
公开(公告)日：2012-07-25
申请号：CN201210082316.0
申请日：2012-03-26
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了大口径超精密测量机的半球定心平面支承转台结构，包括转台基座、平面支承石墨块、转台下静压盘、半球座、半球形石墨瓦、中心轴和半球轴；转台基座中心设有一个安装孔，半球座固定于该安装孔中；半球形石墨瓦固定在半球座上；中心轴安装于半球轴中心并连同半球轴固定在转台下静压盘上；半球轴的凸球面与半球形石墨瓦的凹球面相配合；转台下静压盘的底面开设有环形槽，该环形槽内均匀固定有若干块平面支承石墨块；平面支承石墨块与转台基座形成气体静压轴承副。本发明采用小尺寸的半球轴对大尺寸的转台进行回转定心，实现高的回转精度；采用平面气体静压轴承支承，减小零部件摩擦，具有高精度、高刚度和高承载能力特点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102198517A
公开(公告)日：2011-09-28
申请号：CN201110070094.6
申请日：2011-03-23
Applicant: 西安交通大学
Inventor： 赵惠英 , 陈伟 , 赵则祥 , 崔殿龙 , 路洪伦 , 刘金波 , 李金明 , 乔雪涛 , 李彬 , 席建普 , 任东旭 , 李焕 , 陈健龙 , 梁颖 , 娄云鸽 , 郭艳婕 , 刘志华 , 张会连
IPC: B23B19/02
Abstract: 本发明属于先进制造领域，是对传统气体静压电主轴结构上的一种改进。主轴轴系作为机床的关键部件之一，大体上分为轴承主轴、液体静压主轴、气体静压主轴。随着静压技术的进一步发展，液体静压主轴和气体静压主轴的高转速、大刚度以及长寿命方面具有明显优势，而气本静压电主轴适合加工有色金属、硬质塑料等，又有别于液体静压主轴。常见的气体静压主轴多见于单柱面形式和球形结构形式。应用双柱面结构可以进一步提高气体主轴的刚度和回转精度。多孔质材质采用石墨，相对于传统的小孔节流轴承来说，多孔质轴承具有很高的承载能力，良好的稳定性和低成本等优点。
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公开(公告)号：CN102152158A
公开(公告)日：2011-08-17
申请号：CN201110070181.1
申请日：2011-03-23
Applicant: 西安交通大学 , 北京微纳精密机械有限公司
Inventor： 赵惠英 , 赵则祥 , 崔殿龙 , 路洪伦 , 刘金波 , 李金明 , 乔雪涛 , 李彬 , 席建普 , 任东旭 , 李焕 , 陈健龙 , 梁颖 , 娄云鸽 , 郭艳婕 , 刘志华 , 张会连
IPC: B23Q5/28
Abstract: 所述的精密加工机床用T型直线电机双驱结构属于先进制造领域，是对传统精密加工机床驱动形式上的一种改进。在驱动形式上，采用直线电机进行对运动部件的驱动。在直线电机的安装结构上，采用T型左右对称式的双直线电机安装，消除因直线电机初级和次级间电磁吸力对运动部件吸附造成的变形影响。该T型直线电机双驱结构，具有精度高、稳定性好、对运动部件影响小的优点。
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公开(公告)号：CN105571938A
公开(公告)日：2016-05-11
申请号：CN201610022046.2
申请日：2016-01-14
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01N3/02
CPC classification number: G01N3/02
Abstract: 一种水浮式超薄玻璃基板测量平台，包括测量机构和与之配合的水浮支撑机构和玻璃运载升降机构，利用水的浮力特性支撑阵列浮块，保证超薄玻璃基板平面各个部位都可以得到有效支撑，有效减小超薄玻璃测量过程中的不合理支撑所造成的人为翘曲变形，保证超薄玻璃测量时尽量处在自然应力状态下，可以给超薄玻璃基板的翘曲度参数一个更为准确的评价。
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公开(公告)号：CN103744268B
公开(公告)日：2015-12-09
申请号：CN201310718341.8
申请日：2013-12-23
Applicant: 西安交通大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开一种高精度光栅尺母板光刻装置，包括床身、光源、掩板、刻划光栅尺和间隙调整结构；床身上设有一对平行导轨，导轨上安装有溜板，光源安装于溜板上；床身上正对光源的一侧设有间隙调整结构；掩板和刻划光栅尺安装于所述间隙调整机构上。本发明装置即保证光能照射的均匀性，又避免接触划伤掩板。该装置可以使母板使用寿命长、光刻刻划精度高，易于批量化生产。在平行光光刻刻划工艺的基础上，继续显影、烘烤、腐蚀、坚膜、检测等工艺的制作；生产出来的光栅尺母板精度可以达到±1μm/m的精度。
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公开(公告)号：CN103744268A
公开(公告)日：2014-04-23
申请号：CN201310718341.8
申请日：2013-12-23
Applicant: 西安交通大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开一种高精度光栅尺母板光刻装置，包括床身、光源、掩板、刻划光栅尺和间隙调整结构；床身上设有一对平行导轨，导轨上安装有溜板，光源安装于溜板上；床身上正对光源的一侧设有间隙调整结构；掩板和刻划光栅尺安装于所述间隙调整机构上。本发明装置即保证光能照射的均匀性，又避免接触划伤掩板。该装置可以使母板使用寿命长、光刻刻划精度高，易于批量化生产。在平行光光刻刻划工艺的基础上，继续显影、烘烤、腐蚀、坚膜、检测等工艺的制作；生产出来的光栅尺母板精度可以达到±1μm/m的精度。
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