公开(公告)号：CN115933019A

公开(公告)日：2023-04-07

申请号：CN202211696916.6

申请日：2022-12-28

Applicant: 西安交通大学

Inventor： 朱天飞 ,  李珀 ,  问峰 ,  王宏兴

IPC: G02B3/00 ,  B82Y40/00 ,  B82Y20/00 ,  G03F1/00 ,  G03F1/50 ,  G03F7/20

Abstract: 本发明公开一种纳米透镜阵列及其制备方法，其中一种纳米透镜阵列的其制备方法包括如下步骤：在衬底的一个表面上涂覆光刻胶，用具有圆孔阵列的掩膜板对所述光刻胶进行遮挡，然后对所述光刻胶进行曝光处理和显影处理，在所述衬底上得到具有圆孔阵列的光刻胶薄膜；对具有圆孔阵列的所述光刻胶薄膜的所述衬底镀金属层；将所述光刻胶薄膜从所述衬底剥离，得到金属圆盘阵列；在具有所述金属圆盘阵列的所述衬底进行退火处理，以使所述金属圆盘阵列熔化并缩聚成金属球体阵列，所述金属球体阵列作为衬底的刻蚀掩膜；对具有所述金属球体阵列的所述衬底进行干法刻蚀，得到纳米透镜阵列。该制备方法制备的纳米透镜阵列的成本低，且操作简单。