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公开(公告)号：CN109765516A
公开(公告)日：2019-05-17
申请号：CN201910009261.2
申请日：2019-01-04
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01R35/00
Abstract: 本发明公开了一种微波谐振腔测量表面电阻/电导率的校准方法，包括以下步骤：1)获取方块电阻值间隔分布均匀的校准样品；2)利用四探针测量校准样品的方块电阻Rs0；3)取下谐振腔顶部的盖板，然后将校准样品覆盖于谐振腔顶部的开口处，测量并计算得到当前谐振腔的品质因子Q0；4)取下校准样品，将待测样品覆盖于谐振腔的顶部开口处，测量计算得到此时谐振腔的品质因子Q；5)根据步骤3)测量计算得到的谐振腔的品质因子Q0及步骤4)测量计算得到的谐振腔的品质因子Q计算待测样品方块电阻值Rs和电导率值，该方法能够校准谐振腔测量待测样品的方块电阻值及电导率值。
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