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公开(公告)号：CN118549034A
公开(公告)日：2024-08-27
申请号：CN202410604062.7
申请日：2024-05-15
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01L23/10 , G01L23/26 , C04B35/472 , C04B35/622
Abstract: 本发明公开了一种基于高压电系数和高居里温度的压电陶瓷材料的压电式压力传感器，涉及压力传感器领域。该传感器结构包括外壳和敏感芯体，其中传感器的外壳由上盖和壳体组成，使用压电陶瓷片堆叠的方法制备压电式压力传感器的敏感芯体。敏感芯体使用的压电陶瓷片材料的化学组成为0.355BiScO3‑0.645PbTiO3+x Nd2O3(0.01≤x≤0.04)，其压电系数为425～567pC/N，居里温度为300～400℃，兼具高居里温度和高压电系数。该敏感芯体由压电陶瓷片、电极片、传压质量块、补偿质量块组成。通过采用这种兼具高压电系数与高居里温度的压电陶瓷材料作为传感器核心部件，与合理设计的传感器结构相结合，使得该压电式压力传感器频响快，灵敏度高，工作温度范围宽，而且设计制备的传感器具有主动加速度补偿和振动补偿作用。
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