一种电子束辐照检测MOSFET栅氧化层可靠性的方法

    公开(公告)号:CN115902568A

    公开(公告)日:2023-04-04

    申请号:CN202211386742.3

    申请日:2022-11-07

    Abstract: 本发明公开了一种电子束辐照检测MOSFET栅氧化层可靠性的方法,包括步骤:(1)对MOSFET器件进行初始阈值电压测试;(2)用电子束对上述MOSFET器件进行辐照处理,加速器件老化;(3)以设定的步长逐渐增加辐照剂量,测试并记录不同辐照剂量后器件的阈值电压;(4)对MOSFET器件进行负向高温栅偏加速老化,获得在指定高温栅偏加速应力条件A下器件阈值电压偏移量ΔVth(A);(5)根据步骤(2)得到阈值电压偏移量为ΔVth(A)所对应的辐照剂量DA;(6)辐照剂量为DA的电子束辐照加速老化可以用于替负向高温栅偏加速应力条件A对器件进行快速的可靠性测试。本发明可以对MOSFET栅氧层可靠性进行快速检测,应用广泛。

    一种MOSFET栅氧化层陷阱密度的检测方法

    公开(公告)号:CN115642101A

    公开(公告)日:2023-01-24

    申请号:CN202211348843.1

    申请日:2022-10-31

    Abstract: 本发明公开了一种MOSFET栅氧化层陷阱密度的检测方法,包括:1)对MOSFET器件进行阈值电压和栅氧化层电容测试;2)对上述MOSFET进行电子束辐照处理,在不同的辐照剂量之后,测试器件的阈值电压;3)当器件阈值电压不随辐照剂量增加而变化时,不在进行辐照处理,并记录最终的阈值电压;4)根据电子辐照处理前后MOSFET阈值电压变化量计算得到栅氧化层固定电荷的变化量;5)根据栅氧化层固定电荷的变化量和栅氧化层的面积计算得到栅氧化层陷阱密度。利用本发明,可以快速获取MOSFET栅氧化层陷阱密度,用于分析器件性能和栅氧化层工艺改进,应用广泛。

    一种柔性膜底浆料池的面曝光光固化成型系统

    公开(公告)号:CN112621979A

    公开(公告)日:2021-04-09

    申请号:CN202011262392.0

    申请日:2020-11-12

    Abstract: 本发明公开了一种柔性膜底浆料池的面曝光光固化成型系统,包括液槽模块、线性导轨、玻璃板、玻璃板支撑架、玻璃板平移电机、DLP投影设备和打印装置;液槽模块包括离型膜和离型膜张紧架,离型膜张紧架用于张紧离型膜,液槽由离型膜张紧架与离型膜紧密接触后形成;玻璃板具有两种功能,一种功能为支撑离型膜,第二种功能为将向下凹陷的离型膜刮平,因此玻璃板可以平移;打印平台位于离型膜的上方设置,DLP投影设备位于液槽正下方设置。本发明能够保证在打印任意结构尺寸的陶瓷零件时,分离力、压力和横向粘滞力在允许范围内,并且成形精度高,表面质量好。

    一种原位3D打印曲面分层和路径规划方法

    公开(公告)号:CN112140552A

    公开(公告)日:2020-12-29

    申请号:CN202010719380.X

    申请日:2020-07-23

    Abstract: 本发明公开了一种原位3D打印曲面分层和路径规划方法,以三维点云为输入,曲面分层结果和三维打印路径为输出,提出了基于三维点云的复杂皮肤软组织缺损深度计算方法,然后根据缺损深度值对缺损部位的组织层进行判别,并对不同的组织层进行曲面分层和原位打印路径规划,并生成三维打印路径,使含有不同细胞的打印材料成型在相应的组织层,原位3D打印在皮肤软组织缺损创面形成与原主皮肤软组织结构相似的多层组织结构,组织缺损创面在原位3D打印修复后与缺损前的形态和结构基本一致。

    一种非连续栅格划分三维点云面的路径规划方法

    公开(公告)号:CN108422670B

    公开(公告)日:2019-12-24

    申请号:CN201810196134.3

    申请日:2018-03-09

    Abstract: 本发明公开了一种非连续栅格划分三维点云面的路径规划方法,以三维点云面为输入,三维打印路径为输出,采用非连续栅格划分三维点云面进行路径规划,采用多个参数控制路径规划的精度和运算量。参数包括两类,基本参数:栅格尺寸参数,栅格间距参数;工艺相关参数:栅格中心点稀疏化参数,线间距参数,边界缩进参数,多层打印参数,喷头抬升参数。该方法直接通过三维点云面进行路径规划,不需要三维建模,非连续栅格在保证精度的前提下,减少了运算量,参数设置时考虑了不同打印工艺以及点云空洞、正交路径等问题,可适用于多种的打印工艺。

    一种用于微创手术的光固化水凝胶输送装置及原位打印方法

    公开(公告)号:CN110101448A

    公开(公告)日:2019-08-09

    申请号:CN201910323954.9

    申请日:2019-04-22

    Abstract: 本发明公开了一种用于微创手术的光固化水凝胶输送装置及原位打印方法,该装置包括外壳以及安装在外壳内部旋转换向结构和同轴喷头。其中,同轴喷头安装在外壳内部,同轴喷头出口位于外部,通过内部锥齿轮组的传动变换调整姿态,将手柄处绕Y轴的转动转化成同轴喷头绕X轴的转动,同轴喷头转动范围为0~180°;通过外部手柄处的刻度线指示姿态,外圈指示手柄转动的角度,内圈指示末端同轴喷头转动的角度。同轴喷头呈圆管型,同轴喷头出口位于圆管纵向轴线上,同轴喷头部分采用内嵌式固化光源,同轴喷头外圈兼有材料出口和遮光的作用,照明光源均匀分布在同轴喷头四周;采用“持续光照,间隔送料”的分段固化策略,保证材料固化均匀,提高效率。

    一种陶瓷光固化3D打印系统及方法

    公开(公告)号:CN108724430A

    公开(公告)日:2018-11-02

    申请号:CN201810620939.6

    申请日:2018-06-15

    Abstract: 本发明公开了一种陶瓷光固化3D打印系统及方法,液槽位于透明底板上,弹性分离膜位于透明底板与液槽之间,工作台位于液槽的正上方;所述DLP投影系统包括DLP投影机构、固定架、投影镜头、旋转台及镜头转换器,其中,投影镜头位于透明底板的正下方,DLP投影机构固定于固定架上,DLP投影机构发出的光经投影镜头、透明底板及弹性分离膜照射到液槽内的光固化浆液上,镜头转换器固定于旋转台上,且镜头转换器上设置有固定板,固定板上设置有安装孔,投影镜头位于所述安装孔内,该系统及方法能够较为方便的更换不同分辨率的投影设备及投影镜头,并且零件成形的精度高,零件表面的质量较好。

    一种非连续栅格划分三维点云面的路径规划方法

    公开(公告)号:CN108422670A

    公开(公告)日:2018-08-21

    申请号:CN201810196134.3

    申请日:2018-03-09

    Abstract: 本发明公开了一种非连续栅格划分三维点云面的路径规划方法,以三维点云面为输入,三维打印路径为输出,采用非连续栅格划分三维点云面进行路径规划,采用多个参数控制路径规划的精度和运算量。参数包括两类,基本参数:栅格尺寸参数,栅格间距参数;工艺相关参数:栅格中心点稀疏化参数,线间距参数,边界缩进参数,多层打印参数,喷头抬升参数。该方法直接通过三维点云面进行路径规划,不需要三维建模,非连续栅格在保证精度的前提下,减少了运算量,参数设置时考虑了不同打印工艺以及点云空洞、正交路径等问题,可适用于多种的打印工艺。

    一种原位3D打印曲面分层和路径规划方法

    公开(公告)号:CN112140552B

    公开(公告)日:2021-12-28

    申请号:CN202010719380.X

    申请日:2020-07-23

    Abstract: 本发明公开了一种原位3D打印曲面分层和路径规划方法,以三维点云为输入,曲面分层结果和三维打印路径为输出,提出了基于三维点云的复杂皮肤软组织缺损深度计算方法,然后根据缺损深度值对缺损部位的组织层进行判别,并对不同的组织层进行曲面分层和原位打印路径规划,并生成三维打印路径,使含有不同细胞的打印材料成型在相应的组织层,原位3D打印在皮肤软组织缺损创面形成与原主皮肤软组织结构相似的多层组织结构,组织缺损创面在原位3D打印修复后与缺损前的形态和结构基本一致。

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