公开(公告)号：CN104777534A

公开(公告)日：2015-07-15

申请号：CN201510117677.8

申请日：2015-03-14

Applicant: 西南科技大学

Inventor： 周自刚 ,  范宗学 ,  杨永佳 ,  冯杰 ,  单常亮 ,  魏欣芮 ,  吴琴 ,  林鹏

IPC: G02B5/18 ,  G03F7/00

Abstract: 本发明公开了一种飞秒激光刻蚀波导光栅的制备装置及方法，该装置由飞秒激光器、光偏振器、分光镜、第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜、显微物镜、铌酸锂晶体、精密旋转平台、三维电动平移台、光功率计和计算机依次连接而成。本发明解决如何控制激光条件，并能达到使用一个飞秒激光光源、仅一套加工设备来同时实现光波导以及光栅的制备。

公开(公告)号：CN104777534B

公开(公告)日：2018-05-04

申请号：CN201510117677.8

申请日：2015-03-14

Applicant: 西南科技大学

Inventor： 周自刚 ,  范宗学 ,  杨永佳 ,  冯杰 ,  单常亮 ,  魏欣芮 ,  吴琴 ,  林鹏

IPC: G02B5/18 ,  G03F7/00

Abstract: 本发明公开了一种飞秒激光刻蚀波导光栅的制备装置及方法，该装置由飞秒激光器、光偏振器、分光镜、第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜、显微物镜、铌酸锂晶体、精密旋转平台、三维电动平移台、光功率计和计算机依次连接而成。本发明解决如何控制激光条件，并能达到使用一个飞秒激光光源、仅一套加工设备来同时实现光波导以及光栅的制备。