一种压阻式低微压传感器干扰误差修正方法

    公开(公告)号:CN108181028A

    公开(公告)日:2018-06-19

    申请号:CN201810082577.X

    申请日:2018-01-29

    CPC classification number: G01L1/18 G01L9/06 G01L9/065

    Abstract: 本发明公开了一种压阻式低微压传感器干扰误差修正方法,包括以下步骤:步骤1:建立压阻式低微压传感器的有限元分析模型;步骤2:通过步骤1的有限元分析模型进行振动、温度及其耦合加载的模拟,得到模拟数据;步骤3:根据步骤2得到的模拟数据通过非参数化补偿径向基函数神经网络进行训练,得到关于气压、温度和振动的多输入单输出补偿模型;步骤4:根据步骤3得到的补偿模型对气压信号进行干扰误差修正;本发明能够减小测试信号误差,得到真实的低微压压力信号,能够直接得到模型的电压输出,并考虑了更多的材料属性与条件。

    微压阻式传感器以及阵列结构测试板

    公开(公告)号:CN207472478U

    公开(公告)日:2018-06-08

    申请号:CN201721432823.7

    申请日:2017-11-01

    Abstract: 本实用新型公开了微压阻式传感器以及阵列结构测试板。该微压阻式传感器包括支撑体,该支撑体上设有贯穿该支撑体的通孔;所述通孔包括同轴且从下至上依次连接的第一通孔、第二通孔和第三通孔,所述第一通孔和第三通孔为棱锥台形且横截面尺寸从下至上递增,所述第二通孔为棱柱形,在所述第二通孔的轴向并从下至上依次连接有薄膜、肋结构和块结构;所述肋结构包括两个分别与所述第二通孔的内壁连接的第一窄肋区以及依次设于所述两个第一窄肋区之间的宽肋区、第二窄肋区和宽肋区,所述第二窄肋区的宽度为第一窄肋区的宽度的两倍;所述第一窄肋区和第二窄肋区上集成有压电转化器;所述块结构包括两个底部形状与所述宽肋区形状匹配的单元块。

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