一种模块化设计的自供紫外光源的绿色节能抛光头装置

    公开(公告)号:CN109822454B

    公开(公告)日:2023-11-10

    申请号:CN201910236791.0

    申请日:2019-03-27

    Abstract: 本发明公开了一种模块化设计的自供紫外光源的绿色节能抛光头装置,包括自供紫外光源模块、装卡模块和晶圆保持模块,其中自供紫外光源模块包括光源电路、中间圆盘、防护罩、环形石英玻璃板、密封盖和O型密封垫圈,该模块中的光源电路包括环形电路板、锂电池组和红外遥控开关;装卡模块包括上圆盘、装卡圆柱和弹簧钢片;晶圆保持模块包括底圆盘和保持环。本发明采用模块化的设计,方便了单个模块互换以及模块间装配;本发明将紫外光源装置与抛光头装置高度集成,提高了紫外光能利用率并节约了大量紫外光能;本发明中的机械结构采用铝合金,减少了抛光头装置质量,降低了电机损耗。本发明的高集成和轻质量特性有效实现了绿色节能。

    一种广配激光头的聚焦高度可调的多探针扫描探测装置

    公开(公告)号:CN109828124B

    公开(公告)日:2023-09-22

    申请号:CN201910236785.5

    申请日:2019-03-27

    Abstract: 本发明公开了一种广配激光头的聚焦高度可调的多探针扫描探测装置,其包括:腔体上盖、激光头高度微调机构、石英玻璃、玻璃上压盖、用于连接电动转台的密封法兰、探针切换机构、用于发射激光并采集信号的激光头、用于放置样品的真空腔体、用于固定腔体上盖的压盖固定块、用于翻转腔体上盖的翻盖把手、用于连接腔体上盖翻转支架的连接块、样品载动台和样品载动支座。该装置解决了现有技术中的缺陷,能够有效调节激光头高度,适配多种不同聚焦高度和不同类型的激光头,同时能够优化光窗结构,扩大腔体内部空间,并且对探针切换机构进行改造,能够搭载多种具有不同扫描探测功能的探针。

    微型轴承核心元件超精密柔性化学机械抛光装置及方法

    公开(公告)号:CN111216031A

    公开(公告)日:2020-06-02

    申请号:CN202010118552.8

    申请日:2020-02-26

    Abstract: 本发明公开了微型轴承核心元件超精密柔性化学机械抛光装置及方法。核心元件包括内套圈、保持架、滚动体、外套圈。抛光装置包括元件自转模块、外套圈转向模块、元件夹持模块、抛光液池旋转模块、支架。其中,元件夹持模块针对性提供内套圈夹具、保持架夹具、滚动体夹具、外套圈夹具。抛光方法包括安装调试抛光装置、配制柔性化学机械抛光液、设置抛光工艺参数、测量表面质量并反馈。柔性化学机械抛光液包括非牛顿流体、0.01-40wt%的研磨颗粒、0-10wt%的氧化剂、0-10wt%的金属络合剂、0-5wt%的金属缓蚀剂、以及余量的水,pH值2.0-10.0。本发明通过优化化学反应和力流变效应机械力的协同作用,能够实现核心元件表面超精密低损伤加工以及复杂曲面保形加工,且绿色环保。

    一种广配激光头的聚焦高度可调的多探针扫描探测装置

    公开(公告)号:CN109828124A

    公开(公告)日:2019-05-31

    申请号:CN201910236785.5

    申请日:2019-03-27

    Abstract: 本发明公开了一种广配激光头的聚焦高度可调的多探针扫描探测装置,其包括:腔体上盖、激光头高度微调机构、石英玻璃、玻璃上压盖、用于连接电动转台的密封法兰、探针切换机构、用于发射激光并采集信号的激光头、用于放置样品的真空腔体、用于固定腔体上盖的压盖固定块、用于翻转腔体上盖的翻盖把手、用于连接腔体上盖翻转支架的连接块、样品载动台和样品载动支座。该装置解决了现有技术中的缺陷,能够有效调节激光头高度,适配多种不同聚焦高度和不同类型的激光头,同时能够优化光窗结构,扩大腔体内部空间,并且对探针切换机构进行改造,能够搭载多种具有不同扫描探测功能的探针。

    一种模块化设计的自供紫外光源的绿色节能抛光头装置

    公开(公告)号:CN109822454A

    公开(公告)日:2019-05-31

    申请号:CN201910236791.0

    申请日:2019-03-27

    Abstract: 本发明公开了一种模块化设计的自供紫外光源的绿色节能抛光头装置,包括自供紫外光源模块、装卡模块和晶圆保持模块,其中自供紫外光源模块包括光源电路、中间圆盘、防护罩、环形石英玻璃板、密封盖和O型密封垫圈,该模块中的光源电路包括环形电路板、锂电池组和红外遥控开关;装卡模块包括上圆盘、装卡圆柱和弹簧钢片;晶圆保持模块包括底圆盘和保持环。本发明采用模块化的设计,方便了单个模块互换以及模块间装配;本发明将紫外光源装置与抛光头装置高度集成,提高了紫外光能利用率并节约了大量紫外光能;本发明中的机械结构采用铝合金,减少了抛光头装置质量,降低了电机损耗。本发明的高集成和轻质量特性有效实现了绿色节能。

    智能感温太阳能汽车换气降温系统

    公开(公告)号:CN104842745B

    公开(公告)日:2017-07-11

    申请号:CN201510188054.X

    申请日:2015-04-20

    CPC classification number: Y02T10/88

    Abstract: 本发明公开了一种智能感温太阳能汽车换气降温系统,由太阳能板及其伸缩收纳机构构成,底盘(12)通过真空吸盘(11)与汽车顶部联接,底盘上通过电机底座(3)连接有电机(2),丝杠(5)通过联轴器(4)与电机主轴联接;丝杠(5)上设置有一对互为反向丝扣的螺母对(6)。通过中控台上的总开关控制开启控制盒内部的温控开关,温控开关检测车内温度,由含有温控开关的逻辑电路控制电机动作,电机带动丝杆螺母运动将“M”形的太阳能电池板机构撑开,将太阳能转换成电能,给移动空调和整个电路供电,通过移动空调实现降温换气。该系统实现了夏季高温时候,车辆停放时车内的降温换气,操作简单,安装方便,能量转换效率高。

    智能感温太阳能汽车换气降温系统

    公开(公告)号:CN104842745A

    公开(公告)日:2015-08-19

    申请号:CN201510188054.X

    申请日:2015-04-20

    CPC classification number: Y02T10/88 B60R16/04 B60H1/00735

    Abstract: 本发明公开了一种智能感温太阳能汽车换气降温系统,由太阳能板及其伸缩收纳机构构成,底盘(12)通过真空吸盘(11)与汽车顶部联接,底盘上通过电机底座(3)连接有电机(2),丝杠(5)通过联轴器(4)与电机主轴联接;丝杠(5)上设置有一对互为反向丝扣的螺母对(6)。通过中控台上的总开关控制开启控制盒内部的温控开关,温控开关检测车内温度,由含有温控开关的逻辑电路控制电机动作,电机带动丝杆螺母运动将“M”形的太阳能电池板机构撑开,将太阳能转换成电能,给移动空调和整个电路供电,通过移动空调实现降温换气。该系统实现了夏季高温时候,车辆停放时车内的降温换气,操作简单,安装方便,能量转换效率高。

    用于加工超光滑低损伤轴承钢表面的抛光液及其应用

    公开(公告)号:CN113045993A

    公开(公告)日:2021-06-29

    申请号:CN202110319145.8

    申请日:2021-03-25

    Abstract: 本发明公开了一种用于加工超光滑低损伤轴承钢表面的抛光液及其应用,抛光液包括以下组分:0.01~40wt%的研磨颗粒、0.01~10wt%的金属氧化剂、0.01~10wt%的金属络合剂、0.01~2wt%的复配金属缓蚀剂,其余组分为去离子水,以及少量pH值调节剂;所述pH值调节剂用于调节抛光液的pH值为2~10。与现有技术相比,本发明的抛光液将氮唑类化合物和噻唑类化合物组合作为复配金属缓蚀剂,通过多种金属缓蚀剂的协同作用,在添加更少量的条件下,提高轴承钢表面粗糙峰凹陷处材料去除的机械作用阈值,使轴承钢获得亚纳米级表面粗糙度和趋近于零的亚表面损伤。

    微型轴承核心元件超精密柔性化学机械抛光装置及方法

    公开(公告)号:CN111216031B

    公开(公告)日:2021-02-26

    申请号:CN202010118552.8

    申请日:2020-02-26

    Abstract: 本发明公开了微型轴承核心元件超精密柔性化学机械抛光装置及方法。核心元件包括内套圈、保持架、滚动体、外套圈。抛光装置包括元件自转模块、外套圈转向模块、元件夹持模块、抛光液池旋转模块、支架。其中,元件夹持模块针对性提供内套圈夹具、保持架夹具、滚动体夹具、外套圈夹具。抛光方法包括安装调试抛光装置、配制柔性化学机械抛光液、设置抛光工艺参数、测量表面质量并反馈。柔性化学机械抛光液包括非牛顿流体、0.01‑40wt%的研磨颗粒、0‑10wt%的氧化剂、0‑10wt%的金属络合剂、0‑5wt%的金属缓蚀剂、以及余量的水,pH值2.0‑10.0。本发明通过优化化学反应和力流变效应机械力的协同作用,能够实现核心元件表面超精密低损伤加工以及复杂曲面保形加工,且绿色环保。

    一种铁路道岔表面空气流层防雪装置

    公开(公告)号:CN104790306A

    公开(公告)日:2015-07-22

    申请号:CN201510170961.1

    申请日:2015-04-13

    Abstract: 本发明公开了一种铁路道岔表面空气流层防雪装置,架设在支架(5)上的喷气管(4)在铁路两侧平行对称布置,喷气管(4)上的平行管嘴(6)出口平行于被保护的道岔铁轨(8)表面;通气管道(3)一端连接空气压缩机(2),另一端连接喷气管(4);空气压缩机2置于外罩箱(7)内,通过车站控制终端系统控制开关控制开启空气压缩机,由空气压缩机向通气管道持续提供压缩气体,压缩气体经喷气管上的平行管嘴向外喷出,形成平行于道床的空气层,空气层阻挡雪花落下,形成“空气伞”。该装置实现了铁路道岔的主动除雪,操作方便,结构简单,价格便宜,能量消耗少。

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