公开(公告)号：CN112736197B

公开(公告)日：2023-10-31

申请号：CN202011601376.X

申请日：2020-12-29

Applicant: 西北工业大学

Inventor： 梅霆 ,  高琨 ,  张文定 ,  田森茂 ,  郭亚轩

IPC: H10N70/20

Abstract: 本发明公开了一种改良相变材料的方法，包括以下步骤：(1)清洗衬底：准备衬底并依次置于丙酮、乙醇以及超纯水中进行超声清洗，去除杂质；(2)沉积相变材料：准备相变材料，利用沉积法沉积相变材料薄膜在清洗后的衬底上；(3)沉积介质薄膜：在相变材料表面沉积介质薄膜。本发明的方法可以保护相变材料免于外部机械作用；保护相变材料在相变过程避免发生形变，方法简单，成本低廉；可以保护相变材料免于外界空气的影响，防止在长期工作时外界大气与相变材料发生化学反应；保护层可以有效改善晶态化时相变材料的结晶状态，提高相变材料的性能和使用寿命。

公开(公告)号：CN112736197A

公开(公告)日：2021-04-30

申请号：CN202011601376.X

申请日：2020-12-29

Applicant: 西北工业大学

Inventor： 梅霆 ,  高琨 ,  张文定 ,  田森茂 ,  郭亚轩

IPC: H01L45/00

Abstract: 本发明公开了一种改良相变材料的方法，包括以下步骤：(1)清洗衬底：准备衬底并依次置于丙酮、乙醇以及超纯水中进行超声清洗，去除杂质；(2)沉积相变材料：准备相变材料，利用沉积法沉积相变材料薄膜在清洗后的衬底上；(3)沉积介质薄膜：在相变材料表面沉积介质薄膜。本发明的方法可以保护相变材料免于外部机械作用；保护相变材料在相变过程避免发生形变，方法简单，成本低廉；可以保护相变材料免于外界空气的影响，防止在长期工作时外界大气与相变材料发生化学反应；保护层可以有效改善晶态化时相变材料的结晶状态，提高相变材料的性能和使用寿命。