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发明公开
一种基于非线性增强的模态局域化静电计审中-实审

公开(公告)号：CN117214554A

公开(公告)日：2023-12-12

申请号：CN202311387295.8

申请日：2023-10-24

Applicant: 西北工业大学

Inventor： 王雪峰 , 石如金 , 戚家源 , 王小颖 , 王明辉 , 华志楠 , 陈俞志 , 万海博

IPC: G01R29/24

Abstract: 本发明公开了一种基于非线性增强的模态局域化静电计，包括两个并列排布的两个双端固支音叉梁，两个双端固支音叉梁的左右两端分别与衬底绝缘层固结的两个电极固定，使双端固支音叉梁悬置在镂空的衬底上；每一个双端固支音叉梁中间外侧伸出的受激极板与一个激励极板配合，通过静电力的作用激励起双端固支音叉梁弯曲方向上的振动；两个双端固支音叉梁中间内侧伸出的平行电极板通过静电力进行相互作用，并通过对双端固支音叉梁中间电势的控制来调节相互耦合作用的大小；本发明利用软弹簧非线性提高两个谐振梁同向模态的幅值比灵敏度，解决模态局域化传感器中线性区域限制传感应用的问题。

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