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公开(公告)号:CN117318706A
公开(公告)日:2023-12-29
申请号:CN202311388500.2
申请日:2023-10-24
Applicant: 西北工业大学
Abstract: 本发明公开了一种基于模态耦合和相位控制的振荡器频率稳定性提升系统,相位控制模块根据高频振荡器的振荡频率输出相位控制量以改变低频调控模块中低频锁相环回路的相位延迟从而改变低频振荡器振荡振幅。基于模态耦合机制,通过改变低频振荡器的振荡幅值,可以动态调控高频谐振梁的谐振频率,进而实现高频振荡器频率稳定性的提升。并且,本发明利用静电力实现谐振梁之间的耦合,可以实现灵活的耦合强度控制,进而实现对高频谐振梁自激振荡频率范围的灵活调控。本发明具备不引入噪声、实时性优异和调控精度高等优点,配合大幅度提升MEMS振荡器长期频率稳定性。
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公开(公告)号:CN116840510A
公开(公告)日:2023-10-03
申请号:CN202310806661.2
申请日:2023-07-03
Applicant: 西北工业大学
IPC: G01P15/125 , H03H9/02
Abstract: 本发明公开了一种基于模态耦合带宽自拓展的同步加速度计,敏感模块通过放大梁与敏感谐振梁相连,放大梁传递力于敏感谐振梁,动态改变敏感谐振梁的刚度,敏感模块将振荡信号以扰动信号的形式作用在高频同步模块中的高频谐振梁并形成同步;同步带宽拓展模块根据高频谐振梁振荡信息输出相位控制量作用在低频调控模块中的低频谐振梁以改变其振荡振幅,基于模态耦合机制,通过改变低频谐振梁的振荡幅值,动态调控高频谐振梁的共振频率,进而实现高频谐振梁同步带宽的大幅自主拓展,具备不引入热噪声、实时性优异和调控精度高的优点,从而实现MEMS同步加速度计性能的提升。
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公开(公告)号:CN117214554A
公开(公告)日:2023-12-12
申请号:CN202311387295.8
申请日:2023-10-24
Applicant: 西北工业大学
IPC: G01R29/24
Abstract: 本发明公开了一种基于非线性增强的模态局域化静电计,包括两个并列排布的两个双端固支音叉梁,两个双端固支音叉梁的左右两端分别与衬底绝缘层固结的两个电极固定,使双端固支音叉梁悬置在镂空的衬底上;每一个双端固支音叉梁中间外侧伸出的受激极板与一个激励极板配合,通过静电力的作用激励起双端固支音叉梁弯曲方向上的振动;两个双端固支音叉梁中间内侧伸出的平行电极板通过静电力进行相互作用,并通过对双端固支音叉梁中间电势的控制来调节相互耦合作用的大小;本发明利用软弹簧非线性提高两个谐振梁同向模态的幅值比灵敏度,解决模态局域化传感器中线性区域限制传感应用的问题。
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公开(公告)号:CN116032241A
公开(公告)日:2023-04-28
申请号:CN202310124450.0
申请日:2023-02-16
Applicant: 西北工业大学
Abstract: 本发明公开了一种基于模态耦合机制的同步共振带宽拓展方法及系统,低频调控模块中的低频谐振梁和高频同步模块中的高频谐振梁并列排布,通过第一耦合极板和第二耦合极板实现静电耦合;高频谐振梁置于振荡回路中,产生自激振荡;第二信号发生器通过加法器为振荡回路提供扰动信号,当同步发生时,高频谐振梁的振荡频率跟随扰动信号频率的变化。通过改变外部激励的条件,实现低频调控模块中的低频谐振梁做不同振动幅值的受迫振动,进而通过模态耦合机制,动态调控高频同步模块中的高频谐振梁的等效刚度和共振频率,实现同步带宽的大幅度拓展。
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