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发明公开
中空原子力探针加工方法、系统及中空原子力探针审中-实审

公开(公告)号：CN119973388A

公开(公告)日：2025-05-13

申请号：CN202411986294.X

申请日：2024-12-31

Applicant: 西北工业大学

Inventor： 张国栋 , 许金龙 , 程光华 , 任万飞 , 许金凯

IPC: B23K26/36 , B23K26/70 , B23K37/047 , C25D17/00

Abstract: 本发明提供了一种中空原子力探针加工方法、系统和中空原子力探针，通过激光，对待加工探针第一加工区域内流道和第二加工区域内流道分别进行辐照加工，从而在探针内形成连通的流道。本发明的中空原子力探针加工方法利用了激光的高效、高能、高精度及冷加工的优势，在使用中可以迅速准确地完成流道的加工，在探针中生成高精度和高纵横比的流道，避免了现有技术中的中空原子力探针加工方法无法适应对于中空原子力探针的精度和纵横比需求的技术问题。

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