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发明公开
一种激光自混合的位移精密测量方法及系统无效

公开(公告)号：CN111486793A

公开(公告)日：2020-08-04

申请号：CN202010358547.4

申请日：2020-04-29

Applicant: 苏州集成校准检测认证有限公司

Inventor： 周伦彬 , 朱均超 , 周皓 , 吕林华 , 马骏

IPC: G01B11/02 , G01B9/02 , G01D5/34

Abstract: 本发明公开了一种激光自混合的位移精密测量方法及系统，该方法包括：激光器发出激光至待测物体上，待测物体发生位移；激光在待测物体上发生反射后沿原路反馈回激光器谐振腔内，发生激光自混合干涉；采集自混合信号，并将光信号转化成电信号；采用EEMD算法对电信号进行去噪；对去噪后的电信号进行归一化处理，并根据对称折叠算法计算光反馈因子和线宽展宽因子；根据相位展开算法进行位移重构。本测量方法利用光反馈自混合干涉，通过EEMD算法对自混合干涉信号进行去噪，可以得到纯净的自混合干涉信号，并结合对称折叠算法计算光反馈因子和线宽展宽因子，最后通过相位展开算法进行位移重构，测量误差小，实现精密长度测量，精度可达nm级别。

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