对光滑表面进行微米结构光刻蚀的方法及装置

    公开(公告)号:CN1821883A

    公开(公告)日:2006-08-23

    申请号:CN200610037797.8

    申请日:2006-01-12

    Abstract: 本发明公开了一种对光滑表面进行光刻蚀的方法,采用大功率激光器作为光源,将激光束准直成平行光,经过光阑及透镜后,由分束元件产生分束光束,再会聚到材料表面,形成均匀干涉条纹光场,在光滑表面材料上进行超过材料损伤阈值的光蚀实现图像制作,其特征在于:所述光源采用紫外光输出的大功率二极管泵浦的固态激光器的三倍频或四倍频,所述光阑为可调矩形光阑,在同一位置进行单次脉冲加工,控制激光器的功率,使得在干涉条纹的光强相长处材料发生气化,在材料表面形成条纹结构。并以此制作方法实现微米级条纹高速激光光蚀系统,从而使得激光微米级光栅图像的加工进入真正意义上的工业化应用阶段,是一种微米级结构的先进制造技术。

    一种消色差光变图像的制作方法

    公开(公告)号:CN1786823A

    公开(公告)日:2006-06-14

    申请号:CN200510095777.1

    申请日:2005-11-17

    Abstract: 本发明公开了一种消色差光变图像的制作方法,构建定向散斑生成器,以不同取向的狭缝光阑作为目标物光场,采用迭代傅里叶变换算法计算得到的具有定向衍射特性的二元位相结构,作为光变图像的微结构;根据所需生成的光变图像,用上述定向散斑生成器进行数字化表达,获得光变图像的散斑位相结构;通过空间光调制器,用激光成像系统进行激光直写,获得所需的消色差光变图像。本发明不需要利用干涉等方法来获取散斑,可以利用激光成像系统直写出散斑结构的光变图像,分辨率高,实现了消色差的精密光变图像设计与制作;同时,其适合于热压复制工艺,为制造消色差微光变图像提供了一种新方法。

    对光滑表面进行微米结构光刻蚀的方法及装置

    公开(公告)号:CN100495215C

    公开(公告)日:2009-06-03

    申请号:CN200610037797.8

    申请日:2006-01-12

    Abstract: 本发明公开了一种对光滑表面进行光刻蚀的方法,采用大功率激光器作为光源,将激光束准直成平行光,经过光阑及透镜后,由分束元件产生分束光束,再会聚到材料表面,形成均匀干涉条纹光场,在光滑表面材料上进行超过材料损伤阈值的光蚀实现图像制作,其特征在于:所述光源采用紫外光输出的大功率二极管泵浦的固态激光器的三倍频或四倍频,所述光阑为可调矩形光阑,在同一位置进行单次脉冲加工,控制激光器的功率,使得在干涉条纹的光强相长处材料发生气化,在材料表面形成条纹结构。并以此制作方法实现微米级条纹高速激光光蚀系统,从而使得激光微米级光栅图像的加工进入真正意义上的工业化应用阶段,是一种微米级结构的先进制造技术。

    衍射光变图像的高速激光直写方法和系统

    公开(公告)号:CN100371741C

    公开(公告)日:2008-02-27

    申请号:CN200510095775.2

    申请日:2005-11-17

    Abstract: 本发明公开了一种衍射光变图像的高速激光直写方法,入射平行光经光阑、透镜成像到分束元件上,分束光分别经透镜组会聚,产生干涉条纹光场,依次光刻不同取向的干涉条纹形成不同取向的微光栅图像,其特征在于:由采用半导体泵浦的固态紫外激光器生成所述激光束,利用TTL信号控制,实现激光束的脉冲输出,两组分束光束具有零光程差;光学系统和光刻胶干板分别在相互垂直的两个一维方向上运动,采用连续运动、连续脉冲曝光方式进行光刻。本发明并以此实现了高速激光直写光刻系统,使大面积具有微米级条纹结构的衍射光变图像的原版制作缩短到数小时到17小时之间,真正进入工业化应用阶段,是激光全息技术领域数字化先进制造技术的重要突破。

    数码三维与光变图像的制作方法及激光照排系统

    公开(公告)号:CN1151410C

    公开(公告)日:2004-05-26

    申请号:CN01134159.9

    申请日:2001-11-07

    Abstract: 一种数码三维与光变图像的制作方法,将图像根据单元光栅的取向和空频分解成至少2个子图像,每个子图像中单元光栅的取向和空频相同,将一个子图像输入到空间光调制器上,一平行光束经空间光调制器成像到分束元件上,产生分束光束,并会聚在记录材料上,产生与所述子图像对应的由多个衍射光栅组成的图像,依次向空间光调制器输入不同的子图像,直至完成整个图像的制作;其激光照排系统,包括由平行光源、空间光调制器、成像系统、分束元件等组成的光路系统、放置记录材料的工作台及控制部分,分束元件设置在转台上,记录材料位于分束后成像系统的焦面上。本发明制作速度快,分辨率高,可用于较大面积的三维与光变图像的制作。

    利用光变图像的光学存储方法

    公开(公告)号:CN1385764A

    公开(公告)日:2002-12-18

    申请号:CN02113112.0

    申请日:2002-05-31

    Abstract: 一种利用光变图像的光学存储方法,其特征在于,包括下列步骤:(1)将存储信息利用设定的编码方式生成图形、文字或者数据序列;(2)根据光变图像的特性,将步骤(1)中生成的图文序列排列成光变图文,其中,所述光变图像由光栅单元阵列构成,每个光栅单元是由精细的图形、文字或者数据位构成,光栅单元的尺度不大于160微米;(3)将步骤(2)中获得的光变图文利用光变图像照排系统存储到记录材料上。本发明的技术方案实现了任意数字化图文的高信息密度的光变存贮光刻,具有很好的复制能力,能广泛用于各种复制条件下的工业化生产、如印刷、包装、光盘生产、烫金材料、防伪和衍射器件等行业,同时有信息存储密度高、信噪比好、防伪性好的优点。

    多波段红外上转换材料的检测方法及装置

    公开(公告)号:CN1219204C

    公开(公告)日:2005-09-14

    申请号:CN02138137.2

    申请日:2002-08-16

    Inventor: 陈林森 周望 沈雁

    Abstract: 本发明公开了一种红外上转换材料的检测方法及其检测装置,其特征在于:将红外激光器发出的红外光束聚焦到红外上转换材料的表面,使反射光入射到可见光探测器上,由探测器将光信号转换成电信号,经A/D转换后输出数字信号。本发明可以对红外上转换材料及其编码等直接处理,因而使红外上转换材料防伪检测更为方便及有效:同时还可以检测多个不同波段的激发可见光,且不同波段的发光比例可以定量检测,因而具有很好的防伪性能。

    数码三维与光变图像的制作方法及激光照排系统

    公开(公告)号:CN1350212A

    公开(公告)日:2002-05-22

    申请号:CN01134159.9

    申请日:2001-11-07

    Abstract: 一种数码三维与光变图像的制作方法,将图像根据单元光栅的取向和空频分解成至少2个子图像,每个子图像中单元光栅的取向和空频相同,将一个子图像输入到空间光调制器上,一平行光束经空间光调制器成像到分束元件上,产生分束光束,并会聚在记录材料上,产生与所述子图像对应的由多个衍射光栅组成的图像,依次向空间光调制器输入不同的子图像,直至完成整个图像的制作;其激光照排系统,包括由平行光源、空间光调制器、成像系统、分束元件等组成的光路系统、放置记录材料的工作台及控制部分,分束元件设置在转台上,记录材料位于分束后成像系统的焦面上。本发明制作速度快,分辨率高,可用于较大面积的三维与光变图像的制作。

    利用光变图像的光学存储方法

    公开(公告)号:CN1252548C

    公开(公告)日:2006-04-19

    申请号:CN02113112.0

    申请日:2002-05-31

    Abstract: 一种利用光变图像的光学存储方法,其特征在于,包括下列步骤:(1)将存储信息利用设定的编码方式生成图形、文字或者数据序列;(2)根据光变图像的特性,将步骤(1)中生成的图文序列排列成光变图文,其中,所述光变图像由光栅单元阵列构成,每个光栅单元是由精细的图形、文字或者数据位构成,光栅单元的尺度不大于160微米;(3)将步骤(2)中获得的光变图文利用光变图像照排系统存储到记录材料上。本发明的技术方案实现了任意数字化图文的高信息密度的光变存贮光刻,具有很好的复制能力,能广泛用于各种复制条件下的工业化生产、如印刷、包装、光盘生产、烫金材料、防伪和衍射器件等行业,同时有信息存储密度高、信噪比好、防伪性好的优点。

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