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公开(公告)号：CN1821883A
公开(公告)日：2006-08-23
申请号：CN200610037797.8
申请日：2006-01-12
Applicant: 苏州大学 , 苏州苏大维格数码光学有限公司
IPC: G03F7/20 , H01L21/027
Abstract: 本发明公开了一种对光滑表面进行光刻蚀的方法，采用大功率激光器作为光源，将激光束准直成平行光，经过光阑及透镜后，由分束元件产生分束光束，再会聚到材料表面，形成均匀干涉条纹光场，在光滑表面材料上进行超过材料损伤阈值的光蚀实现图像制作，其特征在于：所述光源采用紫外光输出的大功率二极管泵浦的固态激光器的三倍频或四倍频，所述光阑为可调矩形光阑，在同一位置进行单次脉冲加工，控制激光器的功率，使得在干涉条纹的光强相长处材料发生气化，在材料表面形成条纹结构。并以此制作方法实现微米级条纹高速激光光蚀系统，从而使得激光微米级光栅图像的加工进入真正意义上的工业化应用阶段，是一种微米级结构的先进制造技术。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100495215C
公开(公告)日：2009-06-03
申请号：CN200610037797.8
申请日：2006-01-12
Applicant: 苏州大学 , 苏州苏大维格数码光学有限公司
IPC: G03F7/20 , H01L21/027
Abstract: 本发明公开了一种对光滑表面进行光刻蚀的方法，采用大功率激光器作为光源，将激光束准直成平行光，经过光阑及透镜后，由分束元件产生分束光束，再会聚到材料表面，形成均匀干涉条纹光场，在光滑表面材料上进行超过材料损伤阈值的光蚀实现图像制作，其特征在于：所述光源采用紫外光输出的大功率二极管泵浦的固态激光器的三倍频或四倍频，所述光阑为可调矩形光阑，在同一位置进行单次脉冲加工，控制激光器的功率，使得在干涉条纹的光强相长处材料发生气化，在材料表面形成条纹结构。并以此制作方法实现微米级条纹高速激光光蚀系统，从而使得激光微米级光栅图像的加工进入真正意义上的工业化应用阶段，是一种微米级结构的先进制造技术。
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公开(公告)号：CN100371741C
公开(公告)日：2008-02-27
申请号：CN200510095775.2
申请日：2005-11-17
Applicant: 苏州大学 , 苏州苏大维格数码光学有限公司
Abstract: 本发明公开了一种衍射光变图像的高速激光直写方法，入射平行光经光阑、透镜成像到分束元件上，分束光分别经透镜组会聚，产生干涉条纹光场，依次光刻不同取向的干涉条纹形成不同取向的微光栅图像，其特征在于：由采用半导体泵浦的固态紫外激光器生成所述激光束，利用TTL信号控制，实现激光束的脉冲输出，两组分束光束具有零光程差；光学系统和光刻胶干板分别在相互垂直的两个一维方向上运动，采用连续运动、连续脉冲曝光方式进行光刻。本发明并以此实现了高速激光直写光刻系统，使大面积具有微米级条纹结构的衍射光变图像的原版制作缩短到数小时到17小时之间，真正进入工业化应用阶段，是激光全息技术领域数字化先进制造技术的重要突破。
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公开(公告)号：CN1151410C
公开(公告)日：2004-05-26
申请号：CN01134159.9
申请日：2001-11-07
Applicant: 苏州苏大维格数码光学有限公司
Abstract: 一种数码三维与光变图像的制作方法，将图像根据单元光栅的取向和空频分解成至少2个子图像，每个子图像中单元光栅的取向和空频相同，将一个子图像输入到空间光调制器上，一平行光束经空间光调制器成像到分束元件上，产生分束光束，并会聚在记录材料上，产生与所述子图像对应的由多个衍射光栅组成的图像，依次向空间光调制器输入不同的子图像，直至完成整个图像的制作；其激光照排系统，包括由平行光源、空间光调制器、成像系统、分束元件等组成的光路系统、放置记录材料的工作台及控制部分，分束元件设置在转台上，记录材料位于分束后成像系统的焦面上。本发明制作速度快，分辨率高，可用于较大面积的三维与光变图像的制作。
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公开(公告)号：CN1350212A
公开(公告)日：2002-05-22
申请号：CN01134159.9
申请日：2001-11-07
Applicant: 苏州苏大维格数码光学有限公司
Abstract: 一种数码三维与光变图像的制作方法,将图像根据单元光栅的取向和空频分解成至少2个子图像,每个子图像中单元光栅的取向和空频相同,将一个子图像输入到空间光调制器上,一平行光束经空间光调制器成像到分束元件上,产生分束光束,并会聚在记录材料上,产生与所述子图像对应的由多个衍射光栅组成的图像,依次向空间光调制器输入不同的子图像,直至完成整个图像的制作;其激光照排系统,包括由平行光源、空间光调制器、成像系统、分束元件等组成的光路系统、放置记录材料的工作台及控制部分,分束元件设置在转台上,记录材料位于分束后成像系统的焦面上。本发明制作速度快,分辨率高,可用于较大面积的三维与光变图像的制作。
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公开(公告)号：CN1786748A
公开(公告)日：2006-06-14
申请号：CN200510095775.2
申请日：2005-11-17
Applicant: 苏州大学 , 苏州苏大维格数码光学有限公司
Abstract: 本发明公开了一种衍射光变图像的高速激光直写方法，入射平行光经光阑、透镜成像到分束元件上，分束光分别经透镜组会聚，产生干涉条纹光场，依次光刻不同取向的干涉条纹形成不同取向的微光栅图像，其特征在于：由采用半导体泵浦的固态紫外激光器生成所述激光束，利用TTL信号控制，实现激光束的脉冲输出，两组分束光束具有零光程差；光学系统和光刻胶干板分别在相互垂直的两个一维方向上运动，采用连续运动、连续脉冲曝光方式进行光刻。本发明并以此实现了高速激光直写光刻系统，使大面积具有微米级条纹结构的衍射光变图像的原版制作缩短到数小时到17小时之间，真正进入工业化应用阶段，是激光全息技术领域数字化先进制造技术的重要突破。
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