公开(公告)号：CN117117043A

公开(公告)日：2023-11-24

申请号：CN202311360809.0

申请日：2023-10-20

Applicant: 苏州腾晖光伏技术有限公司

Inventor： 周海龙 ,  钱洪强 ,  张俊巍 ,  李怡洁 ,  梁志强 ,  王威

IPC: H01L31/18 ,  H01L31/0216 ,  H01L31/06

Abstract: 本申请涉及N型钝化接触电池的形成方法及其制造系统，通过喷涂包括氧化硼的浆料，在形成浆料后通过激光的方式进行掺杂，激光处理包括两种能量的激光，一种激光能量用于扩散形成PN结，使用另外一种激光能量形成重掺杂区域，对应栅线区域形成选择性发射极，该方法中无需使用气体扩散炉，并且通过在一个激光处理腔室内形成电池片结构PN结及重掺杂区，另外本申请还提供了一种用于制造N型钝化接触电池的制造系统，通过该系统实现了电池片的链式制备，使该方法能够商业化应用。

公开(公告)号：CN117117043B

公开(公告)日：2024-01-26

申请号：CN202311360809.0

申请日：2023-10-20

Applicant: 苏州腾晖光伏技术有限公司

Inventor： 周海龙 ,  钱洪强 ,  张俊巍 ,  李怡洁 ,  梁志强 ,  王威

IPC: H01L31/18 ,  H01L31/0216 ,  H01L31/06

Abstract: 本申请涉及N型钝化接触电池的形成方法及其制造系统，通过喷涂包括氧化硼的浆料，在形成浆料后通过激光的方式进行掺杂，激光处理包括两种能量的激光，一种激光能量用于扩散形成PN结，使用另外一种激光能量形成重掺杂区域，对应栅线区域形成选择性发射极，该方法中无需使用气体扩散炉，并且通过在一个激光处理腔室内形成电池片结构PN结及重掺杂区，另外本申请还提供了一种用于制造N型钝化接触电池的制造系统，通过该系统实现了电池片的链式制备，使该方法能够商业化应用。