电流互感器复合误差检测装置及方法

    公开(公告)号:CN113030832A

    公开(公告)日:2021-06-25

    申请号:CN202110304936.3

    申请日:2021-03-22

    Abstract: 本发明公开电流互感器复合误差检测装置及方法,该装置包括:检测平台、承载板、一次绕组电源分配器、二次绕组检测仪及控制装置,在检测平台上设有检测通槽,在检测通槽上设有检测组件,每组检测组件均包括:电源端子以及检测端子,电源端子和检测端子均能够伸缩;承载板与检测通槽滑动连接,在承载板上设有互感器承载单元,每个互感器承载单元用于对一个待检测电流互感器进行承载,一次绕组电源分配器分别与每组检测组件的电源端子电连接,二次绕组检测仪分别通过可调负载与每组检测组件的检测端子电连接,控制装置分别与一次绕组电源分配器和二次绕组检测仪电连接。本发明可以同时对多个电流互感器进行复合误差检测,省时省力。

    一种测量金属性TiNx薄膜吸收系数的方法

    公开(公告)号:CN111435123A

    公开(公告)日:2020-07-21

    申请号:CN201910042818.2

    申请日:2019-01-11

    Abstract: 本发明涉及一种测量金属性TiNx薄膜吸收系数的方法。首先对P-GaN衬底和覆有厚度约50nm的金属性TiNx薄膜的P-GaN的同一位置进行不同电压下的阴极荧光测试(CL),获得相应的阴极荧光强度;然后,根据朗伯特定律从而获得不同电压下TiNx薄膜的吸收系数,进而得到平均的吸收系数值;最后,利用四探针技术对薄膜的方块电阻进行测试,进一步确定TiNx薄膜的金属性。本发明利用SEM和CL相结合,获得金属性TiNx薄膜的吸收系数,从而提供了一种对半导体衬底上的厚度为几十纳米的金属性薄膜的吸收系数进行测定的新方法。

Patent Agency Ranking