-
公开(公告)号：CN104266781A
公开(公告)日：2015-01-07
申请号：CN201410527030.8
申请日：2014-10-09
Applicant: 苏州敏芯微电子技术有限公司
Abstract: 本发明提供一种压阻式压力传感器及其制造方法。所述压力传感器包括基片、键合在基片正面的第一层晶圆、以及形成在第一层晶圆和基片之间的真空腔体。所述基片具有衬底、设置在衬底正面的第一绝缘层和设置在第一绝缘层正面与第一层晶圆之间的可动敏感膜层。所述衬底形成有将可动敏感膜层背面向下暴露的背腔。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103051302A
公开(公告)日：2013-04-17
申请号：CN201110308012.7
申请日：2011-10-12
Applicant: 苏州敏芯微电子技术有限公司
CPC classification number: H03H9/2436 , H03H3/0072 , Y10T29/49016
Abstract: 本发明涉及一种横向体声波谐振器、制备该横向体声波谐振器的方法以及应用该横向体声波谐振器的振荡器，属于微机电系统（MEMS）领域。本发明中所述的横向体声波谐振器通过固定端约束谐振体上下左右位移，通过将谐振体垂直设置，使谐振体与驱动电极组成的机-电耦合系统后，当该机-电耦合系统受到外力驱动时，谐振体仅在水平方向上收缩变形，从而使其振动模式单一稳定，故而通过应用此种结构的振荡器在工作时可以获得稳定的频率。而本发明中的谐振器的制备工艺则采用硅片正面刻蚀工艺结合淀积、键合工艺、湿法腐蚀等工艺形成悬浮谐振体，固定端，以及纳米级间距驱动电极，能够有效控制悬浮谐振体的高度，厚度，以及驱动电极间隙。
-
公开(公告)号：CN103051302B
公开(公告)日：2016-03-23
申请号：CN201110308012.7
申请日：2011-10-12
Applicant: 苏州敏芯微电子技术有限公司
CPC classification number: H03H9/2436 , H03H3/0072 , Y10T29/49016
Abstract: 本发明涉及一种横向体声波谐振器、制备该横向体声波谐振器的方法以及应用该横向体声波谐振器的振荡器，属于微机电系统（MEMS）领域。本发明中所述的横向体声波谐振器通过固定端约束谐振体上下左右位移，通过将谐振体垂直设置，使谐振体与驱动电极组成的机-电耦合系统后，当该机-电耦合系统受到外力驱动时，谐振体仅在水平方向上收缩变形，从而使其振动模式单一稳定，故而通过应用此种结构的振荡器在工作时可以获得稳定的频率。而本发明中的谐振器的制备工艺则采用硅片正面刻蚀工艺结合淀积、键合工艺、湿法腐蚀等工艺形成悬浮谐振体，固定端，以及纳米级间距驱动电极，能够有效控制悬浮谐振体的高度，厚度，以及驱动电极间隙。
-
公开(公告)号：CN204085748U
公开(公告)日：2015-01-07
申请号：CN201420580179.8
申请日：2014-10-09
Applicant: 苏州敏芯微电子技术有限公司
Abstract: 本实用新型提供一种压阻式压力传感器，其包括基片、键合在基片正面的第一层晶圆、以及形成在第一层晶圆和基片之间的真空腔体。所述基片具有衬底、设置在衬底正面的第一绝缘层和设置在第一绝缘层正面与第一层晶圆之间的可动敏感膜层。所述衬底形成有将可动敏感膜层背面向下暴露的背腔。
-
公开(公告)号：CN203606066U
公开(公告)日：2014-05-21
申请号：CN201320832607.7
申请日：2013-12-18
Applicant: 苏州敏芯微电子技术有限公司
IPC: G01L19/14
Abstract: 本实用新型涉及一种压力传感器介质隔离的封装结构，包括：塑料基板，具有相对设置的底板和开口端，底板上开设有通孔；隔离膜片，密封塑料基板的开口端；塑料管壳，设置在塑料基板的底板上；敏感元件，设置在塑料管壳内，敏感元件具有背腔，背腔朝向塑料基板的通孔，塑料基板、敏感元件及隔离膜片共同形成一充满隔离介质的密封腔体。通过将隔离膜片设置在塑料基板上，又将敏感元件设置在塑料管壳内，并使塑料基板、敏感元件及隔离膜片共同形成充满隔离介质的密封腔体，与现有的介质隔离技术相比，其体积小，安装方便；且不同于不锈钢充灌硅油的封装技术，本实用新型采用了塑料基板和塑料管壳，所以成本低。
-
公开(公告)号：CN203400138U
公开(公告)日：2014-01-22
申请号：CN201320498665.0
申请日：2013-08-15
Applicant: 苏州敏芯微电子技术有限公司
IPC: A61B5/02
Abstract: 本实用新型公开了一种基于声压传感器的脉搏测量装置，包括腔体、声压传感器、前置放大器、滤波器、CPU处理模块及显示模块，所述腔体内充有具有一定气压的密封气体，所述腔体用以与作用在人体的动脉血管处，并将动脉血管内产生的周期脉搏波信号，转换为气压的周期性变化信号，所述声压传感器检测气压的周期性变化信号并转换为电学信号，所述前置放大器将检测到的电学信号进行放大，提高信噪比并传输至所述滤波器，所述滤波器用于抑制噪声，CPU处理模块用于数据的记录及处理经滤波器处理后的电学信号以得到脉搏信号，传递到显示模块显示出脉搏信号。本实用新型脉搏测量装的灵敏度高、准确性好、成本低、微型化、易携带，可广泛用于临床医疗及家庭医疗。
-
-
-
-
-
Search Results
6
records
(took 0.032 seconds)
