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公开(公告)号：CN119956335A
公开(公告)日：2025-05-09
申请号：CN202410382521.1
申请日：2024-03-29
Applicant: 苏州大学 , 北京石墨烯研究院 , 北京大学 , 北京石墨烯研究院有限公司
Abstract: 本发明公开了一种批量化制备大尺寸高质量石墨烯晶圆的装置及方法。该装置包括石英管、加热组件、晶圆载具，加热组件采用中频线圈与石墨筒发热体配合，石墨筒发热体位于石英管内部，中频线圈位于石英管外部，与石墨筒发热体平齐，用于感应加热石墨筒发热体；晶圆载具上设置有若干限位部件，用于限定多片所述晶圆的位置。
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公开(公告)号：CN119351993A
公开(公告)日：2025-01-24
申请号：CN202411463808.3
申请日：2024-10-18
Applicant: 北京石墨烯研究院 , 苏州大学 , 北京大学 , 北京石墨烯研究院有限公司
Abstract: 本公开涉及化学气相沉积制备技术领域，尤其是涉及一种加热装置、CVD设备及方法。加热装置包括线圈组件、石墨盘和导热垫片，线圈组件包括线圈和供电装置，线圈用于设置在CVD设备的腔室的周向外表面，供电装置用于向线圈供电，以使腔室内产生磁场；石墨盘用于安装于腔室内，石墨盘能够产生热量；导热垫片位于石墨盘上，与石墨盘同轴设置，导热垫片的直径小于石墨盘的直径；导热垫片用于承托晶圆，晶圆的直径大于导热垫片的直径，晶圆包括第一区域和第二区域，第一区域能够与导热垫片直接接触，第二区域与石墨盘之间间隙设置。通过热传导和热辐射相结合的加热方式，提高了晶圆温度分布的均匀性，有利于提高二维材料薄膜的均匀性和质量。
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公开(公告)号：CN118563275A
公开(公告)日：2024-08-30
申请号：CN202410484089.7
申请日：2024-04-22
Abstract: 本发明公开了一种原位氮掺杂石墨烯蓝宝石晶圆及其制备方法,包括以下步骤：S1、将经过清洗和干燥预处理后的蓝宝石晶圆置于管式炉，压强抽至设定压强；S2、升温至第一温度，然后通入氩气，继续升温至第二温度，通入氢气，继续升温至生长温度并稳定5‑60分钟，引入生长碳源和生长氮源，保持一定的生长时间；S3、待生长结束后，停止引入生长碳源和生长氮源，在氩气和氢气环境下降温，在降温过程中，先停止通入氢气，后停止通入氩气；S4、进行破真空处理，得到原位氮掺杂石墨烯蓝宝石晶圆。本发明能够制备得到高品质的原位氮掺石墨烯蓝宝石晶圆，具有均匀性高、平整度好的优点，且通过反应条件改变能够调控氮掺杂种类。
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公开(公告)号：CN115385724A
公开(公告)日：2022-11-25
申请号：CN202210551923.0
申请日：2022-05-18
Abstract: 本发明公开一种改性陶瓷分离膜，包括陶瓷分离膜和直接生长在所述陶瓷分离膜表面的石墨烯层。本发明的改性陶瓷分离膜，在陶瓷分离膜表面直接生长石墨烯层，经过石墨烯层的改性，陶瓷分离膜具有良好的疏水性能，同时石墨烯层具有独特的孔状结构，有利于油脂类化合物的有效通过，降低陶瓷分离膜的平均孔径，提升离子以及大分子物质的截留率，实现物质的油水分离性能，可以应用于含油废水的处理以及高价值油水的回收等。
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公开(公告)号：CN116650844A
公开(公告)日：2023-08-29
申请号：CN202210144683.2
申请日：2022-02-17
IPC: A61N5/06
Abstract: 本发明公开一种红外发射内窥镜镜头，包括凸透镜玻璃基体和凹透镜两个光学透镜以及二者之间的红外发射材料和红外反射膜两个功能层；所述红外发射材料包括石墨烯、碳纳米管、金属氧化物、纳米银线、金属网格、聚苯胺、聚噻吩、聚吡咯中的一种或多种，优选石墨烯；石墨烯玻璃的制备方法为直接生长石墨烯薄膜法、金属衬底上生长的石墨烯薄膜转移法或氧化石墨烯液相涂膜法，优选为采用化学气相沉积法的直接生长石墨烯薄膜法。还公开了所述的内窥镜镜头在制备红外热疗设备中的应用。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114543544B
公开(公告)日：2024-12-06
申请号：CN202011294395.2
申请日：2020-11-18
Applicant: 北京石墨烯研究院
Abstract: 本公开提供一种管式炉测温装置，包括铠装热电偶、传动组件及安装座，其中，铠装热电偶设有多个测温点，传动组件包括旋转杆和轴筒，其中，铠装热电偶的一端为测温探头，另一端连接于旋转杆，传动组件被配置为通过驱动旋转杆转动，带动铠装热电偶绕铰接点旋转，使测温探头进行径向温度测量；和/或，通过驱动轴筒沿轴向移动，以带动铠装热电偶沿轴向移动，使测温探头进行轴向温度测量。本公开的管式炉测温装置具有接线方式简易、成本低、测温准确等优势，能够实现对各种管径尺寸的管式炉内进行全区域温度场测温，具有良好的应用前景。
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公开(公告)号：CN114543544A
公开(公告)日：2022-05-27
申请号：CN202011294395.2
申请日：2020-11-18
Applicant: 北京石墨烯研究院
Abstract: 本公开提供一种管式炉测温装置，包括铠装热电偶、传动组件及安装座，其中，铠装热电偶设有多个测温点，传动组件包括旋转杆和轴筒，其中，铠装热电偶的一端为测温探头，另一端连接于旋转杆，传动组件被配置为通过驱动旋转杆转动，带动铠装热电偶绕铰接点旋转，使测温探头进行径向温度测量；和/或，通过驱动轴筒沿轴向移动，以带动铠装热电偶沿轴向移动，使测温探头进行轴向温度测量。本公开的管式炉测温装置具有接线方式简易、成本低、测温准确等优势，能够实现对各种管径尺寸的管式炉内进行全区域温度场测温，具有良好的应用前景。
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公开(公告)号：CN105717724B
公开(公告)日：2019-02-12
申请号：CN201410725858.4
申请日：2014-12-03
Applicant: 北京石墨烯研究院有限公司
Abstract: 本发明公开了一种超级石墨烯玻璃的应用。该超级石墨烯玻璃的应用，为在制备导电器件中的应用，或为含有该超级石墨烯玻璃的导电器件。所述导电器件为透明电路板、电阻式触摸屏的底板、电加热元件或电致变色电极元件。该石墨烯导电玻璃的各项性能指标可在较大范围内变化，特别地，其光透过率(波长550nm处)可从约10％到97％，面电阻率可从80Ω·sq‑1到20kΩ·sq‑1。该石墨烯导电玻璃结构简单，成本低廉，性能较为优良，适用范围广泛，可应用于透明印刷电路基板，电阻式触摸屏底板或电加热器发热部件等。
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公开(公告)号：CN216808956U
公开(公告)日：2022-06-24
申请号：CN202220338786.8
申请日：2022-02-18
IPC: C23C16/26 , C23C16/46 , C23C16/458
Abstract: 本实用新型公开一种加热炉及CVD反应装置，加热炉包括石英管和电加热组件，石英管内部具有腔室；电加热组件包括线圈、电源和石墨盘，线圈与电源电连接，且线圈螺旋地缠绕在石英管的外周，用于通电后在腔室内产生磁场；石墨盘被配置为能够进出腔室，且能够与线圈对应设置，用于在磁场的作用下产生热量；石墨盘用于承托晶圆衬底，晶圆衬底的一侧表面用于生长石墨烯。通过提高加热温度，有助于获得较高质量的石墨烯，并且可实现高质量石墨烯薄膜在晶圆衬底上的直接制备。并且，仅在石墨盘上加热，可以显著降低反应气体的温度，抑制气相副反应，进一步提高石墨烯生长质量。
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