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公开(公告)号：CN118563275A
公开(公告)日：2024-08-30
申请号：CN202410484089.7
申请日：2024-04-22
Abstract: 本发明公开了一种原位氮掺杂石墨烯蓝宝石晶圆及其制备方法,包括以下步骤：S1、将经过清洗和干燥预处理后的蓝宝石晶圆置于管式炉，压强抽至设定压强；S2、升温至第一温度，然后通入氩气，继续升温至第二温度，通入氢气，继续升温至生长温度并稳定5‑60分钟，引入生长碳源和生长氮源，保持一定的生长时间；S3、待生长结束后，停止引入生长碳源和生长氮源，在氩气和氢气环境下降温，在降温过程中，先停止通入氢气，后停止通入氩气；S4、进行破真空处理，得到原位氮掺杂石墨烯蓝宝石晶圆。本发明能够制备得到高品质的原位氮掺石墨烯蓝宝石晶圆，具有均匀性高、平整度好的优点，且通过反应条件改变能够调控氮掺杂种类。
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