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公开(公告)号：CN112881478A
公开(公告)日：2021-06-01
申请号：CN202110077097.6
申请日：2021-01-20
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本发明涉及一种基于硅微/纳米线的微型化双功能气流传感器及其制备方法，微型化双功能气流传感器包括基底层，所述基底层设有沟道区；传感部件，传感部件包括硅微/纳米线，所述硅微/纳米线包括两个端部及位于两个端部之间的中间部，两个所述端部分别位于沟道区的两侧；两个端部分别连接有金属电极，金属电极连接有引线；封装层，其用于将端部封装于基底层上，中间部及引线裸露于所述封装层外。本发明利用单根硅微/纳米线形成导电回路进行气流传感，除了具有对流速检测能力外还具有对气体种类的传感能力，其制备工艺简单、成本低且拥有高灵敏度和超快响应性，当基底层为柔性高分子时器件可穿戴。
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公开(公告)号：CN112881478B
公开(公告)日：2022-07-15
申请号：CN202110077097.6
申请日：2021-01-20
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本发明涉及一种基于硅微/纳米线的微型化双功能气流传感器及其制备方法，微型化双功能气流传感器包括基底层，所述基底层设有沟道区；传感部件，传感部件包括硅微/纳米线，所述硅微/纳米线包括两个端部及位于两个端部之间的中间部，两个所述端部分别位于沟道区的两侧；两个端部分别连接有金属电极，金属电极连接有引线；封装层，其用于将端部封装于基底层上，中间部及引线裸露于所述封装层外。本发明利用单根硅微/纳米线形成导电回路进行气流传感，除了具有对流速检测能力外还具有对气体种类的传感能力，其制备工艺简单、成本低且拥有高灵敏度和超快响应性，当基底层为柔性高分子时器件可穿戴。
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公开(公告)号：CN111044184A
公开(公告)日：2020-04-21
申请号：CN201911395678.3
申请日：2019-12-30
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本发明涉及一种基于硅微/纳米线的微型化大量程应变传感器及其制备方法。该应变传感器包括柔性高分子基底层，功能层和封装层；功能层位于柔性高分子基底层上，封装层将功能层封装于柔性高分子基底层上；功能层包括波浪结构的硅微/纳米线以及设置在其两端的金属电极和引线。本发明还公开了其制备方法，首先利用预拉伸的高分子基底使硅微/纳米线形成波浪形可拉伸结构，然后用波浪结构的硅微/纳米线作为功能层制备微型化大量程应变传感器。本发明传感器具有较大的应变检测范围，良好的稳定性和可逆性，高耐用性，且体积小，轻便，其制备方法操作简单，成本低，对于人体行为监测传感器的应用具有重要意义。
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