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公开(公告)号:CN112490115A
公开(公告)日:2021-03-12
申请号:CN202011387246.0
申请日:2020-12-01
Applicant: 苏州大学
IPC: H01L21/02 , H01L21/027
Abstract: 本发明涉及一种透明柔性单晶硅材料及其制备方法。本发明的透明柔性单晶硅材料包括呈片状的单晶硅片,单晶硅片上具有多个镂空孔,镂空孔组成阵列化镂空图案,单晶硅片上的孔占比为99%以下,单晶硅片的厚度为微米级。本发明得到了一种具有微观镂空孔状结构的透明柔性单晶硅材料,将推动单晶硅材料在新兴的透明、柔性电子领域的应用。
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公开(公告)号:CN111044184A
公开(公告)日:2020-04-21
申请号:CN201911395678.3
申请日:2019-12-30
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本发明涉及一种基于硅微/纳米线的微型化大量程应变传感器及其制备方法。该应变传感器包括柔性高分子基底层,功能层和封装层;功能层位于柔性高分子基底层上,封装层将功能层封装于柔性高分子基底层上;功能层包括波浪结构的硅微/纳米线以及设置在其两端的金属电极和引线。本发明还公开了其制备方法,首先利用预拉伸的高分子基底使硅微/纳米线形成波浪形可拉伸结构,然后用波浪结构的硅微/纳米线作为功能层制备微型化大量程应变传感器。本发明传感器具有较大的应变检测范围,良好的稳定性和可逆性,高耐用性,且体积小,轻便,其制备方法操作简单,成本低,对于人体行为监测传感器的应用具有重要意义。
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公开(公告)号:CN119997658A
公开(公告)日:2025-05-13
申请号:CN202510484396.X
申请日:2025-04-17
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本发明公开了一种透明晶硅太阳能电池及其制备方法,涉及光电转换技术领域。制备方法基于半电池制备,半电池包括晶硅片和位于晶硅片一侧的正电极,制备方法包括如下步骤:利用反应离子刻蚀工艺对晶硅片进行反向微孔刻蚀,以形成包括多个微孔的微孔电池;对微孔电池进行预处理,以在微孔电池一侧形成包覆于正电极的保护层;对微孔电池依次进行酸处理、氧化硅层沉积、有机分子化学修饰和氧化镁沉积,以在微孔电池的微孔的侧壁上依次形成氧化硅钝化层、有机分子修饰层和氧化镁钝化层;在微孔电池远离正电极的一侧沉积背电极,制备获得透明晶硅太阳能电池。本发明制备的透明晶硅太阳能电池具有较高的光电转换效率、光线透过率和制备效率。
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公开(公告)号:CN119154715A
公开(公告)日:2024-12-17
申请号:CN202411259169.9
申请日:2024-09-10
Applicant: 苏州思萃新能源光电技术研究所有限公司 , 苏州大学
Abstract: 本发明公开了一种水伏器件及其制备方法,该水伏器件包括:纳米线层、设于所述纳米线层顶部的顶电极、以及设于所述纳米线层底部的底电极;其中,所述顶电极包括分布于所述纳米线层顶部的导电微球,所述导电微球与所述纳米线层的顶部电接触,以导通所述纳米线层中的纳米线。本发明提供的水伏器件及其制备方法,通过以导电微球作为器件的顶电极,能够与器件的纳米线顶端形成良好电接触,高效收集纳米线中的电荷,进而通过导电微球之间的连通将电荷导出,能够显著提升器件的输出性能,从而推动其在可再生能源领域的广泛应用。
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公开(公告)号:CN112573478A
公开(公告)日:2021-03-30
申请号:CN202011475382.5
申请日:2020-12-15
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本发明公开了一种硅纳米锥阵列及其制备方法,采用全湿法金属催化化学刻蚀的方法在硅晶圆表面刻蚀出均匀的硅纳米锥阵列,催化剂金属银颗粒直径在硅微纳结构刻蚀过程中逐渐减小,从而实现了大面积硅纳米锥阵列的可控制备。该方法具有低成本、高效率和适用于大规模生产的优势,所制得的硅纳米锥阵列在光电领域、防水、自清洁窗户以及场发射领域都具有广阔的应用前景。
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公开(公告)号:CN119804582A
公开(公告)日:2025-04-11
申请号:CN202411970870.1
申请日:2024-12-30
Applicant: 苏州思萃新能源光电技术研究所有限公司 , 苏州大学
Abstract: 本申请公开了一种自驱动湿度传感器及应用,自驱动湿度传感器包括传感器单体,传感器单体包括:基底;功能层,布置在基底表面,包括分散堆叠的纳米硅颗粒以及布置在纳米硅颗粒之间的纳米孔道,纳米硅颗粒配合形成导电通路;一对电极,分设在功能层两端。本申请的自驱动湿度传感器可对湿度进行快速电压响应,具有优异的可重复性和稳定性,可应用于柔性可穿戴场景中,可贴合在任何弯曲表面以及随附着物变形而不影响正常工作;本申请以来源广泛的硅基为原料,成本极低,可应用于口罩、尿不湿等一次性产品中进行湿度监测,大大提高了自驱动湿度传感器的应用前景。
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公开(公告)号:CN112881478B
公开(公告)日:2022-07-15
申请号:CN202110077097.6
申请日:2021-01-20
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本发明涉及一种基于硅微/纳米线的微型化双功能气流传感器及其制备方法,微型化双功能气流传感器包括基底层,所述基底层设有沟道区;传感部件,传感部件包括硅微/纳米线,所述硅微/纳米线包括两个端部及位于两个端部之间的中间部,两个所述端部分别位于沟道区的两侧;两个端部分别连接有金属电极,金属电极连接有引线;封装层,其用于将端部封装于基底层上,中间部及引线裸露于所述封装层外。本发明利用单根硅微/纳米线形成导电回路进行气流传感,除了具有对流速检测能力外还具有对气体种类的传感能力,其制备工艺简单、成本低且拥有高灵敏度和超快响应性,当基底层为柔性高分子时器件可穿戴。
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公开(公告)号:CN117471055A
公开(公告)日:2024-01-30
申请号:CN202311712188.8
申请日:2023-12-13
Applicant: 苏州思萃新能源光电技术研究所有限公司 , 苏州大学
IPC: G01N33/18
Abstract: 本发明公开了一种氟离子浓度检测方法及氟离子指示剂,该氟离子浓度检测方法包括:将硅纳米颗粒与待测溶液混合形成混合溶液;在70~100℃进行高温硅腐蚀反应,反应预定时间后,观察混合溶液的颜色变化,以确定待测溶液中氟离子的浓度;其中,所述高温硅腐蚀反应能够在氟离子的作用下进行。本发明提供的氟离子浓度检测方法及氟离子指示剂,能够通过调控反应温度使氟离子起到催化剂或类似于催化剂的作用,从而降低对氟离子数量的要求,提高氟离子检测灵敏度;而且该方法具有优异的选择性和抗干扰性,能够在饮用水和工业废水中实现合理、方便和低成本的氟检测。
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公开(公告)号:CN113990781A
公开(公告)日:2022-01-28
申请号:CN202111353891.5
申请日:2021-11-08
Applicant: 苏州大学
IPC: H01L21/67 , H01L21/673 , H01L21/306
Abstract: 本发明涉及一种制备单面氧化超薄硅片的装置及方法。本发明包括:第一基板、第二基板和密封件,所述第二基板设有镂空部分,所述第一基板与第二基板可互相连接与拆卸;待减薄的硅片的两面通过密封件固定于第一基板与第二基板之间,所述待减薄的硅片需保留氧化层的一面朝向金属基板,所述待减薄的硅片待除去氧化层的表面暴露于所述镂空部分。本发明提供了一种制备单面氧化超薄硅片的装置和方法,能够有效的对硅片一侧氧化层进行保护,并且提供充足的应力释放空间,避免硅片在加工过程中由于受力不均被破坏,能够简单、低成本的实现单面氧化超薄硅片的制备。
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公开(公告)号:CN112881478A
公开(公告)日:2021-06-01
申请号:CN202110077097.6
申请日:2021-01-20
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本发明涉及一种基于硅微/纳米线的微型化双功能气流传感器及其制备方法,微型化双功能气流传感器包括基底层,所述基底层设有沟道区;传感部件,传感部件包括硅微/纳米线,所述硅微/纳米线包括两个端部及位于两个端部之间的中间部,两个所述端部分别位于沟道区的两侧;两个端部分别连接有金属电极,金属电极连接有引线;封装层,其用于将端部封装于基底层上,中间部及引线裸露于所述封装层外。本发明利用单根硅微/纳米线形成导电回路进行气流传感,除了具有对流速检测能力外还具有对气体种类的传感能力,其制备工艺简单、成本低且拥有高灵敏度和超快响应性,当基底层为柔性高分子时器件可穿戴。
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