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公开(公告)号:CN119744022A
公开(公告)日:2025-04-01
申请号:CN202510239709.5
申请日:2025-03-03
Applicant: 苏州大学
IPC: H10F71/00 , H10F30/222 , H10F77/70 , H10F77/14 , H01L21/306
Abstract: 本发明公开了一种硅基柔性光电探测器及其制备方法与应用,包括如下步骤:将P型硅片置于腐蚀溶液中减薄至预定厚度后去除表面氧化层,置于刻蚀溶液中进行各向异性腐蚀,得到表面具有金字塔结构的晶硅薄膜;在晶硅薄膜的一面沉积电子传输层后退火处理;在电子传输层表面沉积透明导电电极或栅状金属电极;在晶硅薄膜另一面沉积金属电极,得到硅基柔性光电探测器。本发明硅基柔性光电探测器无需掺杂工艺,提高了器件的稳定性和寿命;以湿法腐蚀减薄得到超薄硅片为基底,具备自支撑的柔软特性增强了器件在动态环境中的适应性,拓宽了其应用范围;具备出色柔性的同时具有快速的响应速度和较高的响应度,满足高性能光电探测领域的多种应用需求。
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公开(公告)号:CN118857459B
公开(公告)日:2024-12-03
申请号:CN202411322736.0
申请日:2024-09-23
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本发明公开了一种测量光电探测器响应时间的电路、系统及方法,涉及传感器测试领域,测量光电探测器响应时间的电路包括探测器与可变电阻并联形成的并联支路;与所述并联支路串联并形成回路的电源和定值电阻;与所述定值电阻并联的示波器,所述示波器与所述定值电阻之间还连接有电容。本发明提供的测量电路在对光电探测器的响应时间进行测量时,不会引入高频噪声,能够测量不同的光电探测器以及探测器在不同偏压下的响应时间。光电探测器即使在产生微弱的电信号情况下,本发明仍能够准确显示其波形。
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公开(公告)号:CN119803691B
公开(公告)日:2025-05-23
申请号:CN202510286678.9
申请日:2025-03-12
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本发明提供一种自驱动异质结波长传感方法及波长传感器,其包括:搭建能够实现自驱动异质结波长传感的异质结波长传感器,之后使待测光依次经过第一异质结光电探测器、基底及第二异质结光电探测器,第一异质结光电探测器吸收部分待测光,且其透射率随着波长逐渐增加,第二异质结光电探测器吸收透过第一异质结光电探测器的光;之后检测第一异质结光电探测器中光电流响应强度Iph1以及第二异质结光电探测器中光电流响应强度Iph2;最后通过Iph1及Iph2的比值拟合出待测波长范围内具有单调性的光电流比‑波长曲线,以完成光波传感。本发明兼具工艺简单、成本低廉、无需外加偏压、分辨率高及波长传感灵敏稳定等优势,为波长传感器的设计提供新的思路及方向。
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公开(公告)号:CN119803691A
公开(公告)日:2025-04-11
申请号:CN202510286678.9
申请日:2025-03-12
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本发明提供一种自驱动异质结波长传感方法及波长传感器,其包括:搭建能够实现自驱动异质结波长传感的异质结波长传感器,之后使待测光依次经过第一异质结光电探测器、基底及第二异质结光电探测器,第一异质结光电探测器吸收部分待测光,且其透射率随着波长逐渐增加,第二异质结光电探测器吸收透过第一异质结光电探测器的光;之后检测第一异质结光电探测器中光电流响应强度Iph1以及第二异质结光电探测器中光电流响应强度Iph2;最后通过Iph1及Iph2的比值拟合出待测波长范围内具有单调性的光电流比‑波长曲线,以完成光波传感。本发明兼具工艺简单、成本低廉、无需外加偏压、分辨率高及波长传感灵敏稳定等优势,为波长传感器的设计提供新的思路及方向。
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公开(公告)号:CN119803690A
公开(公告)日:2025-04-11
申请号:CN202510286584.1
申请日:2025-03-12
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本发明提供了一种异质结波长传感器及传感方法,其包括:第一光电探测器,其中,第一正面电极上设有第一开孔区,第一电子传输层与第一晶硅薄膜之间形成第一异质结;第二光电探测器,其与第一光电探测器沿第二方向间隔排列,其中,第二正面电极上设有第二开孔区,第二电子传输层与第二晶硅薄膜之间形成第二异质结,第二晶硅薄膜与空穴传输层之间形成第三异质结;反射镜,第一光电探测器及第二光电探测器均设置于反射镜的反射面一侧;隔离板,其设置于第一光电探测器及第二光电探测器之间。本发明相比于现阶段常规传感结构来说,其兼具结构简单、生产加工成本低廉、适用范围广、使用灵活性强、可有效降低器件间反射误差等优势。
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公开(公告)号:CN119317200A
公开(公告)日:2025-01-14
申请号:CN202411834898.2
申请日:2024-12-13
Applicant: 苏州大学
IPC: H10F30/21 , H10F77/14 , H04B10/60 , H04B10/116
Abstract: 本发明属于光通信技术领域,涉及一种柔性硅基光电器件、接收端及可见光通信系统。柔性硅基光电器件包括背面电极层、空穴传输层、P型硅光吸收层、电子传输层和正面电极层;电子传输层与P型硅光吸收层之间的价带边能量差大于导带边能量差;P型硅光吸收层与空穴传输层之间的导带边能量差大于价带边能量差;电子传输层的禁带宽度大于3.0eV,正面电极层包括多个分立排布在电子传输层表面的栅状电极。本申请提供的方案通过在P型硅光吸收层两侧表面均形成异质结,有效增强了内建电场的强度,加快了光生电子和光生空穴在器件内的流动速度,从而提高了器件的响应速度;同时提高了电子和空穴的收集效率,从而提高了光电器件的光电转换效率。
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公开(公告)号:CN118857459A
公开(公告)日:2024-10-29
申请号:CN202411322736.0
申请日:2024-09-23
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本发明公开了一种测量光电探测器响应时间的电路、系统及方法,涉及传感器测试领域,测量光电探测器响应时间的电路包括探测器与可变电阻并联形成的并联支路;与所述并联支路串联并形成回路的电源和定值电阻;与所述定值电阻并联的示波器,所述示波器与所述定值电阻之间还连接有电容。本发明提供的测量电路在对光电探测器的响应时间进行测量时,不会引入高频噪声,能够测量不同的光电探测器以及探测器在不同偏压下的响应时间。光电探测器即使在产生微弱的电信号情况下,本发明仍能够准确显示其波形。
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