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公开(公告)号：CN108775875B
公开(公告)日：2020-05-22
申请号：CN201811014689.8
申请日：2018-08-31
Applicant: 苏州大学
IPC: G01B11/25
Abstract: 本发明公开了一种基于色散光谱编码的微结构形貌测量方法及其装置。它利用复色正弦条纹平行光经过轴向色散型光学系统后沿轴向依次色散并一一对应地聚焦于不同的轴向深度位置、以及轴向色散的各单色正弦条纹的调制度随轴向深度变化且在其焦面位置附近达到极大值，建立了测量所需的“光谱—调制度—深度”三者之间的唯一性编码，仅需多帧（如三帧）相移（或单帧）色散光谱编码图像，即可实现对被测元件三维形貌分布的无机械式扫描、全场非接触、快速（动态甚至瞬态）高精度测量。
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公开(公告)号：CN108775875A
公开(公告)日：2018-11-09
申请号：CN201811014689.8
申请日：2018-08-31
Applicant: 苏州大学
IPC: G01B11/25
Abstract: 本发明公开了一种基于色散光谱编码的微结构形貌测量方法及其装置。它利用复色正弦条纹平行光经过轴向色散型光学系统后沿轴向依次色散并一一对应地聚焦于不同的轴向深度位置、以及轴向色散的各单色正弦条纹的调制度随轴向深度变化且在其焦面位置附近达到极大值，建立了测量所需的“光谱—调制度—深度”三者之间的唯一性编码，仅需多帧（如三帧）相移（或单帧）色散光谱编码图像，即可实现对被测元件三维形貌分布的无机械式扫描、全场非接触、快速（动态甚至瞬态）高精度测量。
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公开(公告)号：CN210242710U
公开(公告)日：2020-04-03
申请号：CN201821425530.0
申请日：2018-08-31
Applicant: 苏州大学
IPC: G01B11/25
Abstract: 本实用新型公开了一种基于色散光谱编码的微结构形貌测量装置。被测元件与空间光调制器在测量所采用光谱范围的中心波长下呈物像共轭；光束折转耦合器、空间光调制器、准直扩束镜头、分束器、轴向色散型显微物镜、成像耦合镜头和快照式多/高光谱成像探测器之间呈共光路结构。所提供的测量装置无需轴向机械扫描部件，借助空间光调制器、轴向色散型显微物镜和快照式多/高光谱成像探测器，从系统硬件上实现“光谱—调制度—深度”三者之间的唯一性编码，从而完成对微结构，特别是面形变化复杂、非连续的微结构元件表面微观形貌的全场非接触、高精度测量数据的快速获取，有效抑制因机械部件扫描移动引入的测量误差，提升了系统的可控性与抗干扰能力。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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