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公开(公告)号：CN113125065B
公开(公告)日：2023-05-02
申请号：CN202110339251.2
申请日：2021-03-30
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本公开涉及一种柔性三维力传感器及其制造方法，其中，所述柔性三维力传感器，包括：自上而下设置的凸起受力层、第一微结构单元和第二微结构单元，所述第一微结构单元包括第一柔性衬底、第一电极层和第一微结构，所述第二微结构单元包括第二电极层、第二微结构和第二柔性衬底，所述第一微结构与所述第二微结构分别包括正面和背面，所述第一微结构的正面与所述第二微结构的正面相对设置。
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公开(公告)号：CN112798153B
公开(公告)日：2022-12-23
申请号：CN202011558714.6
申请日：2020-12-25
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本发明公开了一种柔性电容传感器及其制备方法。柔性电容传感器包括第一极板，所述第一极板依次包括第一柔性衬底，位于所述第一柔性衬底上的第一弹性微结构，位于所述第一弹性微结构上的第一电极；第二极板，所述第二极板依次包括第二柔性衬底，位于所述第二柔性衬底上的第二弹性微结构，位于所述第二弹性微结构上的第二电极，位于所述第二电极上的介电层；所述第一弹性微结构呈三棱锥状，所述第二弹性微结构呈三棱锥状；所述第一极板与所述第二极板的布置方式使得所述第一弹性微结构的三棱锥状与所述第二弹性微结构的三棱锥状呈正交状。该柔性电容压力传感器能够同时兼顾宽的压力检测范围和高灵敏度。
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公开(公告)号：CN113125065A
公开(公告)日：2021-07-16
申请号：CN202110339251.2
申请日：2021-03-30
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本公开涉及一种柔性三维力传感器及其制造方法，其中，所述柔性三维力传感器，包括：自上而下设置的凸起受力层、第一微结构单元和第二微结构单元，所述第一微结构单元包括第一柔性衬底、第一电极层和第一微结构，所述第二微结构单元包括第二电极层、第二微结构和第二柔性衬底，所述第一微结构与所述第二微结构分别包括正面和背面，所述第一微结构的正面与所述第二微结构的正面相对设置。
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公开(公告)号：CN112798153A
公开(公告)日：2021-05-14
申请号：CN202011558714.6
申请日：2020-12-25
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本发明公开了一种柔性电容传感器及其制备方法。柔性电容传感器包括第一极板，所述第一极板依次包括第一柔性衬底，位于所述第一柔性衬底上的第一弹性微结构，位于所述第一弹性微结构上的第一电极；第二极板，所述第二极板依次包括第二柔性衬底，位于所述第二柔性衬底上的第二弹性微结构，位于所述第二弹性微结构上的第二电极，位于所述第二电极上的介电层；所述第一弹性微结构呈三棱锥状，所述第二弹性微结构呈三棱锥状；所述第一极板与所述第二极板的布置方式使得所述第一弹性微结构的三棱锥状与所述第二弹性微结构的三棱锥状呈正交状。该柔性电容压力传感器能够同时兼顾宽的压力检测范围和高灵敏度。
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