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公开(公告)号：CN102610671B
公开(公告)日：2015-09-23
申请号：CN201210072614.1
申请日：2012-03-19
Applicant: 苏州东菱振动试验仪器有限公司
IPC: H01L31/0232 , H01L31/18
CPC classification number: H01L31/0468 , Y02E10/52
Abstract: 本发明揭示了一种透光性的薄膜太阳电池，基于单结或多结的非晶硅薄膜太阳电池采用分次阶梯激光刻蚀制备满足幅面结构、透光度要求的透光孔阵列。该薄膜太阳电池设有由透光孔阵列形成的透光区域，每一个透光孔为倒阶梯锥形结构，自薄膜太阳电池表面保护层向底层导电层孔径逐级减小。应用本发明提出的技术方案，采用多次阶梯激光刻蚀的方法及所形成的倒阶梯锥形结构的透光孔，解决了薄膜太阳电池的透光区域图案化、文字化，或整片电池的透光问题，更重要的是解决了激光高温刻蚀中存在的短路问题。对于薄膜太阳电池透明应用而言简化了工艺，增强了灵活性，减少了加工成本，且对环境不产生污染，便于定制和量产。
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