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公开(公告)号：CN116034148A
公开(公告)日：2023-04-28
申请号：CN202080104225.5
申请日：2020-10-09
Applicant: 花王株式会社
Inventor： 三浦穣史 , 若林慧亮
IPC: C09K3/14
Abstract: 本发明在一个方式中提供一种能够兼顾研磨速度的提高与浓缩物的保存稳定性的硅基板用研磨液组合物。本发明在一个方式中涉及一种硅基板用研磨液组合物，其含有下述成分A及下述成分B，且pH值大于8.5且为14以下。成分A：二氧化硅粒子；成分B：pKa为5以上且8.5以下的含氨基的水溶性高分子。
