公开(公告)号：CN104272439B

公开(公告)日：2016-12-21

申请号：CN201380020648.9

申请日：2013-04-16

Applicant: 花王株式会社

Inventor： 三浦穣史 ,  松井芳明 ,  加藤佑树 ,  古高佑季

IPC: H01L21/304 ,  B24B37/00 ,  C09K3/14

CPC classification number: C09G1/02 ,  B24B37/044 ,  C09K3/1436 ,  C09K3/1463 ,  H01L21/02019 ,  H01L21/02024 ,  H01L21/30625

Abstract: 本发明涉及一种硅晶圆用研磨液组合物，其含有二氧化硅颗粒(成分A)、选自胺化合物及铵化合物中的至少1种以上的含氮碱性化合物(成分B)、以及包含10重量％以上的下述通式(1)所表示的结构单元I且重均分子量为50,000以上1,500,000以下的水溶性高分子化合物(成分C)，且25℃下的pH值为8.0～12.0。其中，下述通式(1)中，R1、R2分别独立表示氢、碳原子数1～8的烷基、或碳原子数1～2的羟烷基，不存在R1、R2的两者均为氢的情况。

公开(公告)号：CN104272439A

公开(公告)日：2015-01-07

申请号：CN201380020648.9

申请日：2013-04-16

Applicant: 花王株式会社

Inventor： 三浦穣史 ,  松井芳明 ,  加藤佑树 ,  古高佑季

IPC: H01L21/304 ,  B24B37/00 ,  C09K3/14

CPC classification number: C09G1/02 ,  B24B37/044 ,  C09K3/1436 ,  C09K3/1463 ,  H01L21/02019 ,  H01L21/02024 ,  H01L21/30625

Abstract: 本发明涉及一种硅晶圆用研磨液组合物，其含有二氧化硅颗粒(成分A)、选自胺化合物及铵化合物中的至少1种以上的含氮碱性化合物(成分B)、以及包含10重量％以上的下述通式(1)所表示的结构单元I且重均分子量为50,000以上1,500,000以下的水溶性高分子化合物(成分C)，且25℃下的pH值为8.0～12.0。其中，下述通式(1)中，R1、R2分别独立表示氢、碳原子数1～8的烷基、或碳原子数1～2的羟烷基，不存在R1、R2的两者均为氢的情况。