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公开(公告)号：CN114833048A
公开(公告)日：2022-08-02
申请号：CN202111319682.9
申请日：2021-11-09
Applicant: 芝浦机械电子装置株式会社
Inventor： 山崎修
Abstract: 本发明提供一种加热处理装置，能够迅速且均匀地对经加热的工件进行冷却。实施方式的加热处理装置包括：腔室；支撑部，设在所述腔室的内部，能支撑工件；加热部，设在所述腔室的内部，能对所述工件进行加热；以及至少一个第一喷嘴，设在所述腔室的内部，能对所述工件供给冷却气体。从垂直于所述工件的面的方向观察时，所述第一喷嘴设在不与所述工件重合的位置。所述第一喷嘴相对于所述工件的被供给所述冷却气体的面而倾斜。
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公开(公告)号：CN114833048B
公开(公告)日：2024-05-28
申请号：CN202111319682.9
申请日：2021-11-09
Applicant: 芝浦机械电子装置株式会社
Inventor： 山崎修
Abstract: 本发明提供一种加热处理装置，能够迅速且均匀地对经加热的工件进行冷却。实施方式的加热处理装置包括：腔室；支撑部，设在所述腔室的内部，能支撑工件；加热部，设在所述腔室的内部，能对所述工件进行加热；以及至少一个第一喷嘴，设在所述腔室的内部，能对所述工件供给冷却气体。从垂直于所述工件的面的方向观察时，所述第一喷嘴设在不与所述工件重合的位置。所述第一喷嘴相对于所述工件的被供给所述冷却气体的面而倾斜。
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