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公开(公告)号：CN108140557B
公开(公告)日：2022-03-15
申请号：CN201680040733.5
申请日：2016-07-14
Applicant: 芝浦机械电子株式会社 , 铠侠股份有限公司
IPC: H01L21/027 , B29C33/42 , B29C59/02
Abstract: 有关实施方式的压印用的模板制造装置(1)具备：供给头(11)，向具有形成有凹凸图案的凸部的工作台上的模板(W)供给液态的疏液材料；输送部(20)，使供给头(11)及工作台在沿着工作台的方向上相对移动；控制部(40)，控制供给头(11)及输送部(20)，以使供给头(11)避开凹凸图案而至少向凸部的侧面涂敷液态的疏液材料；和清洗部(30)，向涂敷有液态的疏液材料的模板(W)供给液体。液态的疏液材料包含与模板(W)的表面反应的疏液成分及非疏液成分和将疏液成分溶解的挥发性溶剂。上述液体是将非疏液成分溶解的氟系的挥发性溶剂。
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公开(公告)号：CN108028176B
公开(公告)日：2022-02-22
申请号：CN201680040734.X
申请日：2016-07-14
Applicant: 芝浦机械电子株式会社 , 铠侠股份有限公司
IPC: H01L21/027 , B29C33/38 , B29C59/02
Abstract: 实施方式的压印用的模板制造装置具备：工作台(13)，对模板(W)进行支承，该模板(W)具有形成有凹凸图案的凸部(52)；供给头(11)，向工作台(13)上的模板(W)供给液状的疏液材料；移动机构(15)、(17A)以及(17B)，使供给头(11)以及工作台(13)在沿着工作台(13)的方向上相对移动；以及控制部(40)，对供给头(11)以及移动机构进行控制，以使供给头(11)避开凹凸图案而至少在凸部(52)的侧面涂敷液状的疏液材料。液状的疏液材料包含与模板(W)的表面反应的疏液成分以及非疏液成分、将疏液成分溶解的挥发性溶剂、以及将非疏液成分溶解的氟系的挥发性溶剂。
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公开(公告)号：CN107851555B
公开(公告)日：2021-09-07
申请号：CN201680019762.3
申请日：2016-03-31
Applicant: 芝浦机械电子株式会社 , 东芝存储器株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02
Abstract: 实施方式的压印用的模板制造装置(1)具备：工作台(3)，对模板(W)进行支承，该模板(W)具备基体(11)和凸部(12)，该基体(11)具有主面，该凸部(12)设于主面上，具有与主面相反一侧的端面，在该端面上形成有凹凸图案；供给头(4)，向工作台(3)上的模板(W)供给液状的疏液材料；移动机构(Y轴移动机构(6)、一对X轴移动机构(8A)及(8B))，使工作台(3)以及供给头(4)在沿着工作台(3)的方向上相对移动；以及控制部(9)，对供给头(4)以及移动机构进行控制，以使供给头(4)避开凹凸图案而至少在凸部(12)的侧面涂布液状的疏液材料。
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公开(公告)号：CN107735237B
公开(公告)日：2019-11-19
申请号：CN201680019820.2
申请日：2016-03-31
Applicant: 芝浦机械电子株式会社 , 东芝存储器株式会社
IPC: B29C33/38 , B29C59/02 , H01L21/027
Abstract: 本发明的实施方式所涉及的压印用的模板制造装置(1)具备：支撑部(3)，以凸部(12)朝向下方的方式支撑模板(W)，该模板(W)具备具有主面的基体(11)以及凸部(12)，该凸部(12)设置在主面上，具有与主面相反一侧的端面，在其端面上形成有凹凸图案；气化部(5)，设置在支撑部(3)上的模板(W)的下方，使疏液材料气化；以及防附着板(7)，设置在支撑部(3)上的模板(W)的下方，允许气化了的疏液材料向支撑部(3)上的模板(W)的凸部(12)的侧面附着，防止其向凹凸图案附着。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107851555A
公开(公告)日：2018-03-27
申请号：CN201680019762.3
申请日：2016-03-31
Applicant: 芝浦机械电子株式会社 , 东芝存储器株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02
CPC classification number: B05C5/0225 , B05C5/0204 , B29C33/3842 , B29C59/022 , G03F7/0002
Abstract: 实施方式的压印用的模板制造装置(1)具备：工作台(3)，对模板(W)进行支承，该模板(W)具备基体(11)和凸部(12)，该基体(11)具有主面，该凸部(12)设于主面上，具有与主面相反一侧的端面，在该端面上形成有凹凸图案；供给头(4)，向工作台(3)上的模板(W)供给液状的疏液材料；移动机构(Y轴移动机构(6)、一对X轴移动机构(8A)及(8B))，使工作台(3)以及供给头(4)在沿着工作台(3)的方向上相对移动；以及控制部(9)，对供给头(4)以及移动机构进行控制，以使供给头(4)避开凹凸图案而至少在凸部(12)的侧面涂布液状的疏液材料。
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公开(公告)号：CN108028176A
公开(公告)日：2018-05-11
申请号：CN201680040734.X
申请日：2016-07-14
Applicant: 芝浦机械电子株式会社 , 东芝存储器株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C33/38 , B29C59/02
CPC classification number: B29C33/3842 , B29C33/38 , B29C59/002 , B29C59/02 , B29L2031/757 , G03F7/0002
Abstract: 实施方式的压印用的模板制造装置具备：工作台(13)，对模板(W)进行支承，该模板(W)具有形成有凹凸图案的凸部(52)；供给头(11)，向工作台(13)上的模板(W)供给液状的疏液材料；移动机构(15)、(17A)以及(17B)，使供给头(11)以及工作台(13)在沿着工作台(13)的方向上相对移动；以及控制部(40)，对供给头(11)以及移动机构进行控制，以使供给头(11)避开凹凸图案而至少在凸部(52)的侧面涂敷液状的疏液材料。液状的疏液材料包含与模板(W)的表面反应的疏液成分以及非疏液成分、将疏液成分溶解的挥发性溶剂、以及将非疏液成分溶解的氟系的挥发性溶剂。
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公开(公告)号：CN107851556A
公开(公告)日：2018-03-27
申请号：CN201680020422.2
申请日：2016-03-31
Applicant: 芝浦机械电子株式会社 , 东芝存储器株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02
CPC classification number: B29C59/02 , B29C35/0888 , B29C43/021 , B29C2035/0827 , G03F7/0002 , H01L21/027
Abstract: 实施方式的压印用模板(1)具备：具有主面(2a)的基体(2)；设置在主面(2a)上的凸部(3)，其在与主面(2a)相反的一侧具有端面，在该端面上形成了向液状被复制物按压的凹凸图案(3a)；和不沾液状被复制物的疏液层(4)，其避开凹凸图案(3a)地至少形成在凸部(3)的侧面上。
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公开(公告)号：CN108140557A
公开(公告)日：2018-06-08
申请号：CN201680040733.5
申请日：2016-07-14
Applicant: 芝浦机械电子株式会社 , 东芝存储器株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C33/42 , B29C59/02
CPC classification number: B29C33/3842 , B29C33/42 , B29C59/002 , B29C59/02 , B29L2031/757 , G03F7/0002
Abstract: 有关实施方式的压印用的模板制造装置(1)具备：供给头(11)，向具有形成有凹凸图案的凸部的工作台上的模板(W)供给液态的疏液材料；输送部(20)，使供给头(11)及工作台在沿着工作台的方向上相对移动；控制部(40)，控制供给头(11)及输送部(20)，以使供给头(11)避开凹凸图案而至少向凸部的侧面涂敷液态的疏液材料；和清洗部(30)，向涂敷有液态的疏液材料的模板(W)供给液体。液态的疏液材料包含与模板(W)的表面反应的疏液成分及非疏液成分和将疏液成分溶解的挥发性溶剂。上述液体是将非疏液成分溶解的氟系的挥发性溶剂。
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公开(公告)号：CN107735237A
公开(公告)日：2018-02-23
申请号：CN201680019820.2
申请日：2016-03-31
Applicant: 芝浦机械电子株式会社 , 东芝存储器株式会社
IPC: B29C33/38 , B29C59/02 , H01L21/027
Abstract: 本发明的实施方式所涉及的压印用的模板制造装置(1)具备：支撑部(3)，以凸部(12)朝向下方的方式支撑模板(W)，该模板(W)具备具有主面的基体(11)以及凸部(12)，该凸部(12)设置在主面上，具有与主面相反一侧的端面，在其端面上形成有凹凸图案；气化部(5)，设置在支撑部(3)上的模板(W)的下方，使疏液材料气化；以及防附着板(7)，设置在支撑部(3)上的模板(W)的下方，允许气化了的疏液材料向支撑部(3)上的模板(W)的凸部(12)的侧面附着，防止其向凹凸图案附着。
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