公开(公告)号：CN102842525B

公开(公告)日：2016-02-17

申请号：CN201210243147.4

申请日：2012-06-21

Applicant: 芝浦机械电子株式会社 ,  株式会社东芝

Inventor： 古矢正明 ,  石见宗宪 ,  和歌月尊彦 ,  近藤正纪 ,  山田胜哉

IPC: H01L21/67 ,  H05B3/34 ,  B01D46/12

CPC classification number: H01L21/67103 ,  B01D46/10 ,  B01D46/4263 ,  B01D2273/30 ,  H05B3/283 ,  H05B2203/022

Abstract: 本发明提供加热器单元、使用该加热器单元的风扇过滤器单元、使用该风扇过滤器单元的基板处理装置，可以使通过加热器单元内的空气均匀且效率高地加热，并且可以抑制从加热器对配置在加热器单元周围的部件的热传递。实施方式所涉及的加热器单元(15)包括：将线状发热体(26)弯曲成平面状而形成的平面状加热器(22)；以导热性高的材料形成为网状并且在平面状加热器(22)的至少一面侧与该平面状加热器(22)相对配置的第一网状体(23)；以及以比第一网状体(23)的导热性低的材料形成为网状并且与第一网状体(23)的与平面状加热器(22)相对的面的相反侧的面相对配置的第二网状体(24、25)。

公开(公告)号：CN102842525A

公开(公告)日：2012-12-26

申请号：CN201210243147.4

申请日：2012-06-21

Applicant: 芝浦机械电子株式会社 ,  株式会社东芝

Inventor： 古矢正明 ,  石见宗宪 ,  和歌月尊彦 ,  近藤正纪 ,  山田胜哉

IPC: H01L21/67 ,  H05B3/34 ,  B01D46/12

CPC classification number: H01L21/67103 ,  B01D46/10 ,  B01D46/4263 ,  B01D2273/30 ,  H05B3/283 ,  H05B2203/022

Abstract: 本发明提供加热器单元、使用该加热器单元的风扇过滤器单元、使用该风扇过滤器单元的基板处理装置，可以使通过加热器单元内的空气均匀且效率高地加热，并且可以抑制从加热器对配置在加热器单元周围的部件的热传递。实施方式所涉及的加热器单元(15)包括：将线状发热体(26)弯曲成平面状而形成的平面状加热器(22)；以导热性高的材料形成为网状并且在平面状加热器(22)的至少一面侧与该平面状加热器(22)相对配置的第一网状体(23)；以及以比第一网状体(23)的导热性低的材料形成为网状并且与第一网状体(23)的与平面状加热器(22)相对的面的相反侧的面相对配置的第二网状体(24、25)。