公开(公告)号：CN101563770A

公开(公告)日：2009-10-21

申请号：CN200780046690.2

申请日：2007-11-30

Applicant: 艾克塞利斯科技公司

Inventor： 陶天照 ,  马文·拉方腾 ,  威廉·李 ,  艾许温·普罗西特

IPC: H01L21/683

CPC classification number: H01L21/6833

Abstract: 本发明公开了一种用于抓持工件的静电夹具(ESC)、系统和方法。ESC的抓持板具有中心盘和围绕中心盘的环状物，其中，中心盘从环状物以间隙距离凹进，在其中限定容积。背侧气体输送孔定位于为最接近环状物与中心盘之间的界面。加到环状物的第一电极的第一电压抓持工件的周边区域到第一层。加到中心盘的第二电极的第二电压大致上补偿在容积内的背侧气体的压力。ESC可由J－R型或库伦型材料构成。与抓持板相关联连的冷却板还由设置为用于从中输送冷却流体的一个或更多冷却通道提供冷却。

公开(公告)号：CN101563770B

公开(公告)日：2013-01-02

申请号：CN200780046690.2

申请日：2007-11-30

Applicant: 艾克塞利斯科技公司

Inventor： 陶天照 ,  马文·拉方腾 ,  威廉·李 ,  艾许温·普罗西特

IPC: H01L21/683

CPC classification number: H01L21/6833

Abstract: 本发明公开了一种用于抓持工件的静电夹具(ESC)、系统和方法。ESC的抓持板具有中心盘和围绕中心盘的环状物，其中，中心盘从环状物以间隙距离凹进，在其中限定容积。背侧气体输送孔定位于为最接近环状物与中心盘之间的界面。加到环状物的第一电极的第一电压抓持工件的周边区域到第一层。加到中心盘的第二电极的第二电压大致上补偿在容积内的背侧气体的压力。ESC可由J-R型或库伦型材料构成。与抓持板相关联连的冷却板还由设置为用于从中输送冷却流体的一个或更多冷却通道提供冷却。