公开(公告)号：CN101405660A

公开(公告)日：2009-04-08

申请号：CN200780010216.4

申请日：2007-03-09

Applicant: 艾克塞利斯科技公司

Inventor： 帕拉尼库玛朗·萨克希维尔 ,  托马斯·巴克利 ,  艾伦·贝克内尔

IPC: G03F7/42

CPC classification number: G03F7/427 ,  G01N21/73 ,  H01J37/32972 ,  H01L21/31138

Abstract: 用于在基本无氧和氮的等离子体灰化处理中监测氧和/或氮的水平的方法通常包括使用光发射监测所述等离子体。监测所存在的低水平的氧和/或氮物种对所述等离子体中通常富含的其它物种所产生的效应，并且使其与所述等离子体中存在的氧和氮的量关联。这种所谓“效应检测”方法监测由痕量氧和/或氮物种的存在所造成的与不同于氮和/或氧的物种特别相关的光谱干扰，并且用于以1ppm和大概1ppb的等级的灵敏度定量测定氧和/或氮的量。

公开(公告)号：CN101405660B

公开(公告)日：2011-09-28

申请号：CN200780010216.4

申请日：2007-03-09

Applicant: 艾克塞利斯科技公司

Inventor： 帕拉尼库玛朗·萨克希维尔 ,  托马斯·巴克利 ,  艾伦·贝克内尔

IPC: G03F7/42

CPC classification number: G03F7/427 ,  G01N21/73 ,  H01J37/32972 ,  H01L21/31138

Abstract: 用于在基本无氧和氮的等离子体灰化处理中监测氧和/或氮的水平的方法通常包括使用光发射监测所述等离子体。监测所存在的低水平的氧和/或氮物种对所述等离子体中通常富含的其它物种所产生的效应，并且使其与所述等离子体中存在的氧和氮的量关联。这种所谓”效应检测”方法监测由痕量氧和/或氮物种的存在所造成的与不同于氮和/或氧的物种特别相关的光谱干扰，并且用于以1ppm和大概1ppb的等级的灵敏度定量测定氧和/或氮的量。